IntelliGen® HMV20 ディスペンスシステム
- 高粘度 (300 ~ 1,000 mPa・s) フォトケミカルのユースポイントディスペンス
仕様書
多様なシステム・プロセス管理ツール:
- 圧力波形比較ツール (%)
- 薬液中のエア検出ツール (mL)
- ろ過時の差圧管理ツール (psi)
- 最大リチャージ圧力管理ツール (psi)
- サイクルタイム管理ツール (秒)
材質 | 接液部 | PTFE、変性 PTFE、Kalrez® (カルレッツ) |
ディスペンス 性能 | ||
ディスペンス量 | 0.1 ~ 20.0 mL (0.001 mL 単位) | |
ディスペンスレート | 0.1 ~ 3.0 mL/sec (0.01 mL/sec 単位) | |
繰り返し精度 | 0.03 mL (3σ) 以下 | |
薬液粘度* | 300 ~ 1,000 mPa・s | |
最大ディスペンス圧** | 1.7 MPa | |
リチャージ 性能 | フィルトレーションレート、フィルレート、ベントレート、パージレート | 0.1 ~ 3.0 mL/sec (0.01 mL/sec 単位) |
ベント頻度 | ディスペンス 1 ~ 10,000 回の範囲で任意設定または自動ベント | |
機構接 | 接続 | スーパー 300 タイプ ピラー、スーパータイプピラー |
ベントチューブ | 外径:6.35 mm (1/4")、9.53 mm (3/8") | |
内径:3.97 mm (0.156")、6.35 mm (1/4") | ||
入口/出口 チューブ | 外径:9.53 mm (3/8") | |
内径:6.35 mm (1/4") | ||
適合フィルター (別売) | オプチマイザー® ST フィルター | |
使用ガス | N2 または CDA | |
バキューム | - 68 kPa | |
駆動電源 | 定格電流 | 1.25 A |
入力電圧 (システム) | 24 VDC | |
シリアル通信 | 使用するインターフェースモジュールの種類による | |
パラレル通信 | トリガーおよび ACK | |
寸法*** | 高さ 幅 奥行き | 303.8 mm 104.5 mm 245.4 mm |
重さ | 9.6 kg 以下 | |
認証 | CE | |
環境 (クリーンルーム相当の環境のみ) | 標高 周囲温度**** | 2,000 m 以下 5 ~ 40 °C |
*/** ディスペンス圧力が 1.7 MPa (250 psi) 以内であれば、粘度が 20,000 mPa・s 以上の薬液でも使用可能です。 *** 型番 IGHMV20PHKP3 の寸法 **** 装置に依存します。温度を一定に保つため、適切な排気対策が必要です。 |
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型番 | 継手タイプ | Fitting Configuration | 入口 | 出口 | Vent | ケーブル長さ | コネクタ |
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IGHMV20PHKP3 | 9.53 mm (3/8”) スーパータイプピラー | Straight | 3/8" | 3/8" | 3/8" | 1.0 m | D-Sub 25ピン |
IGHMV20PS331E | 3/8" Super 300 Type Pillar® | Elbow | 3/8" | 3/8" | 1/4" | 0.10 m | D-Sub 15 pin, 3 lines |
IGHMV20PS331S | 3/8" Super 300 Type Pillar® | Straight | 3/8" | 3/8" | 1/4" | 0.10 m | D-Sub 15 pin, 3 lines |
IGHMV20PS333S | 3/8" Super 300 Type Pillar® | Straight | 3/8" | 3/8" | 3/8" | 3.0 m | D-Sub 15ピン |