IntelliGen® RULV ディスペンスシステム
注:
- 従来個別のパーツとして扱っていた RDS-01 V2 コントローラの機能がインテリジェン RULV ディスペンスシステムに内蔵 (一体化) されたため、RDS-01 V2 コントローラを別に注文する必要はありません。ただし、専用ケーブルの注文が必要となります。
- オプションの流量計を注文の際は、RS485 対応の通信ケーブルも併せてご注文ください。
先進 2 ステージテクノロジーは、優れたディスペンス性能とコネクトロジーフィルター設計の組み合わせにより、以下のようなアプリケーションで、薬液のディスペンス精度と再現性を発揮します:
- 低粘度 (1 - 100 mPa・s) なフォトケミカルのディスペンス
仕様書
性能: | ディスペンス量 | 0.01 ~ 10.0 mL (0.001 mL 単位) | |
ディスペンスレート | 0.1 ~ 3.0 mL/sec (0.001 mL/sec 単位) | ||
繰り返し精度 | ≤ 0.02 mL (3σ) | ||
薬液粘度* | 1 ~ 100 mPa・s | ||
最大ディスペンス圧** | 0.21 MPa | ||
リチャージ性能: | フィルトレーションレート、フィルレート、ベントレート、パージレート | 0.1 ~ 3.0 mL/sec (0.001 mL/sec 単位) | |
ベント頻度 | ディスペンス 1 ~ 10000 回の範囲で任意設定または自動ベント | ||
機構部: | 接液部材質 | 変性 PTFE、PTFE、Kalrez® (カルレッツ) | |
接続 | 入口:インサート式のスーパータイプピラー 出口、ベント:Flaretek® (フレアテック) | ||
適合フィルター | Impact® (インパクト) 8G またはインパクト2 V2 (OF タイプ) | ||
入口、出口、ベントのチューブ | 外径:1/4" (6.35 mm) または 6 mm 内径:3.97 mm または 4 mm | ||
入口ガス種 | 圧力調整済み N2 または CDA | ||
使用条件 | 最小供給ガス圧力:0.26 MPa 最大供給ガス圧力:0.28 MPa 供給ガス リーク圧力:0.30 MPa | ||
バキューム | - 68 kPa | ||
寸法: | 高さ | 303.5 mm | |
幅 | 118.0 mm | ||
奥行き | 156.8 mm | ||
重さ: | 約 4.5 kg | ||
駆動電源: | 定格電流 | 1.25A (最大) | |
入力電圧 (システム) | 24 VDC ± 10 % | ||
シリアル通信 | 使用するインターフェースモジュールの種類による | ||
パラレル通信 | トリガーおよび ACK | ||
認証: | 付属の説明書をご確認ください | ||
環境: | クリーンルーム相当の環境のみ | ||
標高 2000 m まで | |||
周囲温度:5 °C ~ 40 °C | |||
最高相対湿度:80 % @ < 31 °C、50 % @ 40 °C | |||
電源変動:22 ~ 26 VDC | |||
過電圧:過渡過電圧のカテゴリーII | |||
汚染度 2 |
* 装置の構成により異なります。詳しくはお問い合わせください。
** 値は理論上の最大値です。実際のディスペンス量やレートは、粘度、配管径、配管長、および配管高さによる圧力降下によって規制される場合があります。
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | 製品タイプ | ケーブル長さ | Cable Type |
---|---|---|---|
IGLFMHM01 | Flowmeter, type 1 OD 6.35 mm | N/A | N/A |
IGLNPSP01 | Cable | 3.5 m | RS232C host cable |
IGLNPSP02 | Cable | 5.0 cm | RS232C host cable |
IGLNPSP03 | Cable | 3.5 m | RS422 host cable plus ground |
IGLNPSP04 | Cable | 1.0 m | RS422 DG chain cable plus ground |
IGLNPSP05 | Cable | 2.0 m | RS485 flowmeter cable |
IGLNPSP06 | Cable | 5.0 m | RS485 flowmeter cable |
IGLNPVBPF1F1 | IntelliGen® RULV dispense system | N/A | N/A |
IGRDS01SP01 | Cable | 3.0 m | RDS-01 controller, main |
IGRDS01SP02 | Cable | 0.8 m | RDS-01 controller, chain |
注:
- 従来個別のパーツとして扱っていた RDS-01 V2 コントローラの機能がインテリジェン RULV ディスペンスシステムに内蔵 (一体化) されたため、RDS-01 V2 コントローラを別に注文する必要はありません。ただし、専用ケーブルの注文が必要となります。
- オプションの流量計を注文の際は、RS485 対応の通信ケーブルも併せてご注文ください。