Integra® Plus WS 空圧式バルブ、3/4" オリフィス、二方弁
注:
- 構成によっては不可能な場合があります。複数の特注機能が必要な場合は、インテグリスまでお問い合わせください。
- フッ素系界面活性剤を含む流体のハンドリングで「スペースセーバー」ポート接続を使用される場合は、インテグリスまでお問い合わせください。
- 半導体ファブ内の薬液供給(BCD)ライン
- CMP用スラリーディスペンス
- ウェーハの洗浄・剥離(WEC)用高純度薬液のハンドリング
- TFT/LCD腐食性薬液のハンドリング
仕様書
ポート接続 | 流量係数CV | 流量係数KV | 寸法 | |||
A | B | C | D | |||
19.05 mm (3/4")プライムロック | 13.7 | 195.6 | 156.5 mm (6.16") | 28.4 mm (1.12") | 180.1 mm (7.09") | 90.4 mm (3.56") |
19.05 mm (3/4")フレアテック | 13.7 | 195.6 | 149.6 mm (5.89") | 28.4 mm (1.12") | 180.1 mm (7.09") | 90.4 mm (3.56") |
19.05 mm (3/4")ピュアボンドパイプ | 13.1 | 187.1 | 155.4 mm (6.12") | 28.4 mm (1.12") | 180.1 mm (7.09") | 90.4 mm (3.56") |
注: ポジションセンサーインジケータを使用するには、インテグリスのセンサー取り付け用アッセンブリー(01-1035661)と別売のオムロンのポジションセンサー(EE-SX770RまたはEE-SX770A)が必要です。
材質 | すべての接液部 | PFA、PTFE | ||
外部アクチュエータ部品: | PVDF または ECTFE, 赤色 PVDF (インジケータ) | |||
内部アクチュエータ部品: | PVDF、Viton®、EPDM、PTFE | |||
スプリング: | コーティング加工済みステンレス | |||
使用条件 | 流体圧力 | 21°C真空 | 入口/出口 | 91.3 - 552 kPa |
PVDF actuator | 100°C | 入口/出口 | 275 kPa* | |
ECTFE actuator | 35°C | 入口/出口 | 552 kPa* | |
エア供給圧力 (ノーマリークローズのみ) | 414-552 kPa* | |||
(ノーマリーオープンのみ) | 414 kPa | |||
温度範囲 | ||||
周囲温度 (PVDF アクチュエータ) | 21°-50°C | |||
周囲温度 (ECTFE アクチュエータ) | 21°-35°C | |||
流体温度 (PVDF アクチュエータ) | 21°-100°C | |||
流体温度 (ECTFE アクチュエータ) | 21°-35°C | |||
エア供給ポート | 1/8 NPT メス (パイロット供給ポートとパイロットベントポートの位置については寸法図をご確認ください) | |||
環境に関する適合規格 | RoHs、WEEE | |||
*実際のバルブ性能は圧力と温度によって異なります。性能データの実際の数値を参照してください。 |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
Integra Animation
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01-1035661
Remote position indication sensor mounting assembly for Integra® Plus WS pneumatic valves and EP PFA pneumatic valves
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WSP-NC-RKIT
Repair kit for 3/4", 1", or 1 1/4" Integra® Plus WS 2-way, pneumatic normally closed weir valves
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WSP-NO-RKIT
Repair kit for 3/4", 1", or 1 1/4" Integra® Plus WS 2-way, pneumatic normally open weir valves
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WSP-NC-P2-RKIT
Repair kit for 3/4", 1", or 1 1/4" Integra® Plus WS 2-way, pneumatic normally closed, 90° turn weir valves
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WSP-NO-P2-RKIT
Repair kit for 3/4", 1", or 1 1/4" Integra® Plus WS 2-way, pneumatic normally open, 90° turn weir valves
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WSP-NC-EC-RKIT
Repair kit for 3/4", 1", or 1 1/4" Integra® Plus WS 2-way, pneumatic normally closed weir valves with ECTFE actuators
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WSP-NO-EC-RKIT
Repair kit for 3/4", 1", or 1 1/4" Integra® Plus WS 2-way, pneumatic normally open weir valves with ECTFE actuators