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業界最高水準のリニアフィルトレーションテクノロジー
産業
  • 半導体
プロセス
  • ウェーハの洗浄・剥離
ブランド名
  • FlowPlane™
薬液
  • 反応性の高い酸
  • 反応性の高い塩基
  • 溶剤
Torrento® (トレント) X フィルターは、水溶性薬液、特にアウトガスの発生する薬液、反応性の高い酸・アルカリ向けの業界最高レベルのフィルターです。
産業
  • 半導体
プロセス
  • ウェーハの洗浄・剥離
  • 施設
ブランド名
  • Torrento®
薬液
  • 反応性の高い酸
  • 反応性の高い塩基
  • レジスト剥離液
Torrento® (トレント) S フィルターは、高流量と高粒子除去性能を実現する溶剤およびBEOL薬液用の最高クラスの最先端フィルターです。
産業
  • 半導体
  • 薬液製造
プロセス
  • ウェーハの洗浄・剥離
  • 施設
ブランド名
  • Torrento®
薬液
  • 溶剤
QuickChange® (クイックチェンジ) NX フィルターは、水溶性薬液、特にアウトガスの発生する薬液、反応性の高い酸・アルカリ用の先進的なフィルターです。
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
プロセス
  • ウェーハの洗浄・剥離
  • 磁気ヘッド - ウェーハの洗浄・剥離
  • 薬液供給
ブランド名
  • QuickChange®
薬液
  • 反応性の高い酸
  • 反応性の高い塩基
  • 溶剤
Fluorogard® (フロロガード) NX フィルターは、アウトガスが発生しない薬液、水溶液、酸・アルカリ、および最先端の溶剤に対応するクリーンでコスト効率に優れたフィルターです。
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
  • LED
プロセス
  • ウェーハの洗浄・剥離
  • 基板 - Ni-Pメッキ
  • 基板 - IPA
  • メディア - IPA
  • メディア - 潤滑油
  • 薬液
  • 薬液供給
ブランド名
  • Fluorogard®
薬液
  • 反応性の高い酸
  • 反応性の高い塩基
  • 溶剤
Guardian™ (ガーディアン) ECD フィルターは、常温の希釈酸・アルカリ向けに開発されたフィルターです。
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • データストレージ
プロセス
  • ウェーハの洗浄・剥離
ブランド名
  • Guardian™
薬液
  • 希釈酸
  • 希釈塩基
Intercept® (インターセプト) HP / HS フィルターは、 業界最高レベルの希釈酸(常温)用フィルターです。
産業
  • 半導体
  • 太陽電池
プロセス
  • ウェーハの洗浄・剥離
  • 薬液供給
  • C-シリコン
ブランド名
  • Intercept®
薬液
  • 希釈酸
Impact® (インパクト) 8G ディスポーザブル フィルターは、優れた流量特性に加えマイクロバブルの発生を抑制する業界最高レベルのウルトラクリーンなフォトケミカル向け使用点用フィルターです。
産業
  • 半導体
  • データストレージ
  • LED
プロセス
  • フォトリソグラフィ
  • 磁気ヘッド - フォトリソグラフィ
ブランド名
  • Impact®
薬液
  • フォトレジスト
  • フォトケミカル
  • 溶剤
業界最高レベルの極めてクリーンなフォトケミカル用フィルター
産業
  • 半導体
  • 薬液製造
プロセス
  • フォトリソグラフィ
  • 施設
  • ウェーハの洗浄・剥離
  • 薬液製造
ブランド名
  • Microgard™
薬液
  • フォトレジスト
  • フォトケミカル
  • 溶剤
Eximor® (エキシモア) SV5 ディスポーザブル フィルターは、NTDおよびRRC向けに設計された先進的でクリーンな使用点用フィルターです。
産業
  • 半導体
プロセス
  • フォトリソグラフィ
ブランド名
  • Eximor™
薬液
  • 溶剤
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