液体用 フィルター


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Azora (アゾーラ) フォトケミカルフィルターは、薬液製造やユースポイントのろ過で重要となるフォトケミカルの性能を向上させるために開発された画期的なフィルターメディアです。
ブランド名
  • Azora™
薬液
  • Photochemical
  • Photoresist
  • Solvent
微細加工の寸法(レイヤー)
  • <10 nm
設置ポイント
  • Point of Dispense
  • Bulk
高性能な Trinzik™ (トリンジック) UPW 超純水用フィルターは、純水および超純水中の不純物を低減します。
ブランド名
  • Trinzik™
薬液
  • DI Water
  • Ultrapure Water
設置ポイント
  • Bulk
  • Point of Tool
産業
  • Semiconductor
  • Flat Panel Display
  • Data Storage
  • Solar
  • LED
高流量な Trinzik™ (トリンジック) PSP 希釈プロセス用フィルターは、バッチ式ウェットプロセス装置における歩留まりが向上します。
ブランド名
  • Trinzik™
薬液
  • Dilute Acids
  • Aqueous Acids
  • Detergents
  • DI Water
設置ポイント
  • Point of Tool
産業
  • Semiconductor
  • Chemical Manufacturing
高流量な Trinzik™ (トリンジック) PEH 水系プロセス用フィルターは、量産工程における歩留まりが向上します。
ブランド名
  • Trinzik™
薬液
  • Dilute Acids
  • Aqueous Acids
  • Detergents
  • Dilute Bases
  • Bases
  • DI Water
設置ポイント
  • Bulk
産業
  • Flat Panel Display
  • Data Storage
業界最高水準のリニアフィルトレーションテクノロジー
ブランド名
  • FlowPlane™
薬液
  • 反応性の高い塩基
  • 反応性の高い酸
  • 溶剤
微細加工の寸法(レイヤー)
  • 14 - 22 nm
  • < 10 nm
設置ポイント
  • 装置内
Torrento® (トレント) X フィルターは、水溶性薬液、特にアウトガスの発生する薬液、反応性の高い酸・アルカリ向けの業界最高レベルのフィルターです。
ブランド名
  • Torrento®
薬液
  • 反応性の高い酸
  • 反応性の高い塩基
  • レジスト剥離液
微細加工の寸法(レイヤー)
  • < 10 nm
  • 14 - 22 nm
設置ポイント
  • 装置内
  • 供給点
  • バルク
Torrento® (トレント) S フィルターは、高流量と高粒子除去性能を実現する溶剤およびBEOL薬液用の最高クラスの最先端フィルターです。
ブランド名
  • Torrento®
薬液
  • 溶剤
微細加工の寸法(レイヤー)
  • < 10 nm
  • 14 - 22 nm
設置ポイント
  • 装置内
  • 供給点
  • バルク
QuickChange® (クイックチェンジ) NX フィルターは、水溶性薬液、特にアウトガスの発生する薬液、反応性の高い酸・アルカリ用の先進的なフィルターです。
ブランド名
  • QuickChange®
薬液
  • 反応性の高い酸
  • 反応性の高い塩基
  • 溶剤
微細加工の寸法(レイヤー)
  • 28 - 90 nm
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
  • 供給点
  • バルク
Fluorogard® (フロロガード) NX フィルターは、アウトガスが発生しない薬液、水溶液、酸・アルカリ、および最先端の溶剤に対応するクリーンでコスト効率に優れたフィルターです。
ブランド名
  • Fluorogard®
薬液
  • 反応性の高い酸
  • 反応性の高い塩基
  • 溶剤
微細加工の寸法(レイヤー)
  • > 90 nm
  • 28 - 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
  • バルク
Guardian™ (ガーディアン) ECD フィルターは、常温の希釈酸・アルカリ向けに開発されたフィルターです。
ブランド名
  • Guardian™
薬液
  • 希釈塩基
  • 希釈酸
微細加工の寸法(レイヤー)
  • 14 - 22 nm
  • < 10 nm
  • 28 - 90 nm
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
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