• our science our science インテグリスのサイエンス
    • 産業別

      • マイクロエレクトロニクス

        • 半導体

        • データストレージ

        • フラットパネル ディスプレイ

        • LED

      • その他の工業

        • 航空宇宙

        • 一般工業

        • ガラス

    • 製造分野別

      • ロジック製造

      • メモリ製造

      • 半導体装置製造

      • 薬品製造

      • バイオプロセッサ

    • ソリューション別

      • コンタミネーション コントロール

      • 流体管理

      • ライフサイエンス

      • 特殊材料

      • 基板のハンドリング

    • サービス別

      • 分析サービス

      • フィールドサポートサービス

      • FOUPサービス

      • リファビッシュサービス

      • ガスピューリファイヤーの再生サービス

      • Technology Centers

        • China Technology Center

        • Life Sciences Technology Center

  • product catalog product catalog 製品カタログ
    • ベアダイ/チップトレー

      • トレー ウィザード

      • H20 シリーズ用アクセサリ

      • H44 シリーズ用アクセサリ

    • 化学薬品

      • 薬品供給システム

        • 固体材料供給 システム

        • 薬液供給システム

      • 特殊配合薬品

        • Coating, Ink, and Adhesive Ingredients

          • Resin Monomers and Components

          • Surface Modifiers

        • ポスト CMP クリーニング

          • 半導体用 クリーニング ソリューション

            • PlanarClean® クリーニング ソリューション

            • ESC クリーニング ソリューション

          • ワイド バンド ギャップ半導体用 クリーニング ソリューション

          • HDD メディア基板用 クリーニング ソリューション

        • ポストエッチング クリーニングソリューション

          • TitanKlean® クリーニング ソリューション

          • ST クリーニング ソリューション

          • NOE エッチャント クリーニング ソリューション

        • Precursors

          • Upstream ALD/CVD Precursors

          • Advanced Deposition Materials (ADM) ALD/CVD Precursors

        • エレクトロニクス用薬品

        • スラリー

        • Silanes

        • Organophosphorus Compounds

        • Specialty Acrylates and Methacrylates

        • Siloxanes

        • Specialty Additives

        • Ligands

        • ウェーハの再生

    • 流体管理

      • リキッドパッケージング

        • FluoroPure® 薬液容器

          • FluoroPure® HDPEブロー成形ドラム

            • FluoroPure® アドバンテージ トライレイヤー HDPEブロー成形ドラム

            • FluoroPure® トライレイヤーHDPE ブロー成形ドラム

          • FluoroPure® 複合ドラム

          • FluoroPure®カスタム製品

        • NOWPak®ライナーベースシステム

        • Sentry®クイックコネクトシステム

        • FluoroPure®中間バルクコンテナ

        • FluoroPure® ポートのオプション、ツール、アクセサリ

        • カスタム仕様のディップチューブ、タンク、コンテナ

        • FluoroPure®圧力容器

        • プロセスタンク

      • 流体のハンドリング

        • 継手

          • PrimeLock® チューブ継手

          • PrimeLock® ESD チューブ継手

          • PrimeLock®用 アクセサリ

          • Flaretek® チューブ継手

          • Flaretek®用アクセサリ

          • Cynergy®継手

          • Cynergy®用アクセサリ

          • EP PFAフレア継手

          • EP PFAフレア継手アクセサリ

          • PureBond®溶着チューブ継手

          • Quikgrip®チューブ継手

          • Quikgrip® PFAナット

          • インテグラルフルール チューブ継手

          • インテグラルフェルール チューブ継手用アクセサリ

          • PFA製 バーブ継手

          • 二重配管継手

          • PureBond®溶着パイプ継手

          • PureBond®アクセサリ

          • NPTパイプ継手

          • NPTネジ接続継手用アクセサリ

        • バルブ

          • CR および CH バルブ

            • CR4シリーズ バルブ

            • CR8シリーズ バルブ

            • CH8シリーズ 高温用バルブ

          • Integra®バルブ

          • Cynergy®バルブ

          • EP PFAバルブ

          • マニホールドおよびアッセンブリー

          • プラグバルブ

          • ニードル/計量バルブ

          • ストップコックバルブ

          • チェックバルブ

          • バルブ用 アクセサリ

        • 流体制御用の補助製品

          • スプレー製品

          • アスピレーター

          • ネジ類

        • バルブ 選択ツール

        • 継手 選択ツール

        • チューブおよびパイプ

        • カスタム製品

      • プロセスのモニタリング

        • プロセスの制御

          • InVue™ インテグレーテッド 流量コントローラ

          • NT™ 流量制御バルブ

          • フォトケミカル ディスペンス システム

        • プロセスの管理

          • 濃度計

          • 差圧式流量計

          • NT™圧力トランスデューサ

        • 粒子特性評価

    • ガスのろ過、精製

      • ガスディフューザー

        • Chambergard™ ガス ディフューザー

      • ガスフィルター

        • インライン アロイ 22 ガスフィルター

        • ベント用ガスフィルター

        • Bulk Gas Filters and Housings

        • その他の ガスフィルター

        • PTFE メンブレン製 インライン ガスフィルター

        • ステンレススチール製 インライン ガスフィルター

        • ニッケルメンブレン製 インライン ガスフィルター

        • 集積 ガスフィルター

      • AMCフィルター

        • ステッパー / スキャナー用 ケミカル フィルター

        • プロセス装置用 ケミカル フィルター

        • クリーンルーム用 ケミカル フィルター

        • DUV、EUVスキャナー用 ケミカル フィルター キャビネット

      • ガスピューリファイヤー

    • ハードディスク部品のハンドリング

      • 保管用ボックスおよび個別ディスクパック

      • リードライトトレーおよびキャリア

      • ディスクシッパー

      • ディスクプロセスキャリア

    • 液体のろ過、精製

      • 液体用 フィルター

      • 液体用 ピューリファイヤー

      • 液体用 フィルター ハウジング

    • マスクおよびレチクルのハンドリング

      • レチクルポッドおよびパージ キャビネット

      • マスクキャリアと出荷ボックス

      • マスクパッケージ

    • その他の基板のハンドリング

      • その他のデバイス用工程内容器

      • 太陽電池用製品

    • 特殊材料

      • 高純度グラファイト

        • Industrial Graphite Grades

        • Semiconductor Graphite Grades

        • Life Sciences Graphite Grades

        • 高純度 グラファイト 部品

        • ガラス成形用 グラファイト

        • GLASSMATE®コンポーネント

        • グラファイト処理の オプション

      • コーティング

        • 静電チャック

        • プラズマ CVD コーティング

        • Caerus™ コーティング 技術

        • Pegasus™ コーティング 技術

      • 高純度シリコンカーバイド

        • SUPERSiC® シリコン カーバイド 部品

        • SUPERSiC® シリコン カーバイド

      • Advanced Cleaning Materials

    • 特殊ガス

      • 特殊配合 ガス

      • ガス供給用シリンダーシステム

      • ガス供給用 キャビネット システム

      • ガス

    • ウェーハハンドリング

      • ウェーハプロセス用製品

        • CMP 洗浄用ブラシ

        • CMP パッドおよびパッドコンディショナー

        • 300 mm FOUP

        • 200 mm ウェーハ用工程内容器

        • 200 mmウェーハ用アクセサリ

        • 150 mmウェーハ用工程内容器

        • 150 mm 以下のウェーハキャリア用アクセサリ

        • 125 mm ウェーハ用工程内容器

        • 100 mm ウェーハ用工程内容器

        • 76.2 mm (3") ウェーハ用工程内容器

        • 2.5 インチ以下のウェーハ用工程内容器

        • 実験用器具

        • 静電チャック

      • ウェーハ用 出荷容器

        • 300 mm ウェーハ出荷容器

        • 200 mmウェーハ用出荷容器

        • 150 mmウェーハ用出荷容器

        • 125 mmウェーハ用出荷容器

        • 100 mmウェーハ用出荷容器

        • 3インチ ウェーハ用出荷容器

        • 2.5 インチ以下のウェーハ用出荷容器

      • 完成品ウェーハ用 出荷容器

        • SmartStack® 非接触型 ホリゾンタルウェーハシッパー

        • SmartStack® ホリゾンタル ウェーハ シッパー

        • フィルムフレームシッパー および リング

  • resources resources ライブラリー
    • 関連資料

    • 技術情報

      • 計算およびその他のツール

      • Entegris Test Standards and Protocols

      • 公式

      • 耐薬品性

      • Material Properties and Safety

      • 粒子特性評価のアプリケーション

      • Chemlock® Filter Housing Technical Information

    • 業界に潜在する問題/ニーズ

      • 3D NAND Solutions

      • 先端成膜材料のイノベーション

      • 完璧なパターンの追求

      • 高純度薬液の供給

      • 高純度ガスの供給

      • 静電気放電 (ESD) の防止

      • End-to-End Gas Filtration Solutions

      • デバイスの性能、歩留まり、信頼性を実現する包括的なアプローチ

      • Silicon Carbide CMP Solutions

      • 革新的な材料で先端技術の課題を解決

      • Targeted Contaminant Removal

    • Scientific Report

  • about us about us インテグリスについて
    • 企業概要

    • 企業の社会的責任 (CSR)

    • 採用情報

    • イベント

    • 株主・投資家向け情報

    • 規定/商標

    • グループ会社

    • ニュース

    • マスメディア報道

    • インテグリスの日本法人

    • 製造拠点

液体用 フィルター


選択を絞り込む
  • ブランド名
  • 薬液
  • 微細加工の寸法(レイヤー)
  • 設置ポイント
  • 業種
  • プロセス
Astera™ (アステラ) 液体用フィルターは、高流量なアプリケーションのユースポイントで、酸やアルカリ水溶液におけるクラス最高のろ過を提供します。
ブランド名
  • Astera™
薬液
  • Dilute Acids
  • DI Water
  • Dilute Bases
  • Aqueous Acids
設置ポイント
  • 装置内
  • Bulk
産業
  • Semiconductor
Azora (アゾーラ) フォトケミカルフィルターは、薬液製造やユースポイントのろ過で重要となるフォトケミカルの性能を向上させるために開発された画期的なフィルターメディアです。
ブランド名
  • Azora™
薬液
  • Photochemical
  • Photoresist
  • Solvent
微細加工の寸法(レイヤー)
  • <10 nm
設置ポイント
  • Point of Dispense
  • Bulk
Azora™ (アゾーラ) フォトケミカル バルク フィルターは、薬液製造のろ過で重要となるフォトケミカルに対する性能向上に特化した画期的なろ過メディアです。
ブランド名
  • Azora™
薬液
  • Photoresist
  • Solvent
  • Photochemical
設置ポイント
  • Bulk
産業
  • Chemical Manufacturing
  • Semiconductor
5 nm 以下の先端ノード向けに設計された Microgard (マイクロガード) Gen 1 UPE フィルターは、先端のフォトケミカルから微小な不純物を除去します。
ブランド名
  • Microgard™
薬液
  • Photoresist
  • Photochemical
  • Solvent
微細加工の寸法(レイヤー)
  • <5 nm
設置ポイント
  • Bulk
Torrento® (トレント) X フィルターは、水溶性薬液、特にアウトガスの発生する薬液、反応性の高い酸・アルカリ向けの業界最高レベルのフィルターです。
ブランド名
  • Torrento®
薬液
  • 反応性の高い酸
  • 反応性の高い塩基
  • レジスト剥離液
微細加工の寸法(レイヤー)
  • < 10 nm
  • 14 - 22 nm
設置ポイント
  • 装置内
  • 供給点
  • バルク
QuickChange® (クイックチェンジ) NX フィルターは、水溶性薬液、特にアウトガスの発生する薬液、反応性の高い酸・アルカリ用の先進的なフィルターです。
ブランド名
  • QuickChange®
薬液
  • 反応性の高い酸
  • 反応性の高い塩基
  • 溶剤
微細加工の寸法(レイヤー)
  • 28 - 90 nm
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
  • 供給点
  • バルク
PSTS シリーズのポリエーテルスルホン製フィルターは、医薬品や食品・飲料における粒子やコロイド状のコンタミネーションを効率的に除去します。
ブランド名
  • Pharmsteri™
薬液
  • Bulk Chemicals
  • Buffers
  • Facility Water
設置ポイント
  • Prefiltration
  • Bulk
産業
  • ライフサイエンス
Etchgard™ HP (エッチガードHP) フィルターは、幅広い水溶系の薬液に使用できるフィルターです。
ブランド名
  • Etchgard™
薬液
  • 希釈酸
  • 成膜
  • 希釈塩基
微細加工の寸法(レイヤー)
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
Eximor® (エキシモア) SV1フィルター用 フラッシングシェルは、エキシモア SV1 フィルターを使用しているラインの洗浄用空容器です。フィルターの代わりに装着してライン洗浄を行います。
ブランド名
  • Eximor®
薬液
  • 溶剤
微細加工の寸法(レイヤー)
  • N/A
設置ポイント
  • 装置内
Eximor® (エキシモア) SV1 ディスポーザブル フィルターは、RRC 用溶剤向けの先進的でクリーンなユースポイント用フィルターです。
ブランド名
  • Eximor®
薬液
  • 溶剤
微細加工の寸法(レイヤー)
  • 14 - 22 nm
設置ポイント
  • 装置内
さらに読み込む
比較のためにこの商品を追加する場合は、他の4つの商品のうち1つのチェックマークを外してください。 比較のためにこの商品を追加する場合は、他の2つの商品のうち1つのチェックマークを外してください。
-->