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  • システムの種類
  • 業種
  • プロセス
プロセスに合わせてスループットを向上
化学式
  • 濃縮プラス72BF4
シリンダー容量
  • 0.44 L
  • 2.2 L
システムの種類
  • 負圧で供給(SAGSタイプII)
産業
  • 半導体
最適なガスを最適な方法で供給
化学式
  • AsH3
シリンダー容量
  • 0.44 L
  • 2.2 L
  • 2.5 L
  • 6.6 L
  • 7.6 L
  • 17 L
  • 50 L
システムの種類
  • 負圧で保管、供給(SAGSタイプI)
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • 太陽電池
非常に高い安全性技術を必要とする危険なガス
化学式
  • PH3
シリンダー容量
  • 0.44 L
  • 2.2 L
  • 2.5 L
  • 6.6 L
  • 7.6 L
  • 16 L
システムの種類
  • 負圧で保管、供給(SAGSタイプI)
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
  • 太陽電池
もっとも安全な方法で極めて純粋な機能を実現
化学式
  • BF3
シリンダー容量
  • 2.2 L
  • 2.5 L
  • 6.6 L
  • 7.6 L
  • 50 L
システムの種類
  • 負圧で保管、供給(SAGSタイプI)
  • 負圧で供給(SAGSタイプII)
産業
  • 半導体
  • フラットパネルディスプレイ
プロセス、安全性、純度の強化
化学式
  • 濃縮BF3
シリンダー容量
  • 0.44 L
  • 2.2 L
  • 2.5 L
  • 6.6 L
  • 7.6 L
  • 50 L
システムの種類
  • 負圧で保管、供給(SAGSタイプI)
  • 負圧で供給(SAGSタイプII)
  • 正圧で供給 @ 100 psig
産業
  • 半導体
リスクを低減し、有効性が向上
化学式
  • 濃縮72BF4
シリンダー容量
  • 0.44 L
  • 2.2 L
システムの種類
  • 負圧で保管、供給(SAGSタイプI)
  • 負圧で供給(SAGSタイプII)
産業
  • 半導体
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