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SilicoMax™ コーティング

SilicoMax™(シリコマックス)は、高密度でマイクロコンフォーマルな高純度シリコンカーバイドコーティングで、非常に残留応力が低い特性を備えています。 シリコマックスはアモルファスで、高い電気抵抗率と耐摩耗性を示します。 このコーティングは高いEUV反射率と放射率を示し、幅広い基材上で成膜できます。   

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