SilicoMax™ コーティング
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- EUV光学コンポーネント
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仕様書
基材: | 対応材料: ほとんどの金属とセラミック |
サイズ: 最大91 cm | |
形状: 複雑な形状を含む任意の形状 | |
構造: | アモルファス |
温度: | 成膜温度: < 150°C |
使用温度: 650°C | |
コーティング厚: | 数 nmから60 μm超 |
電気抵抗率: | ˜108 Ω-cm |
硬度: | 1600 DPHN |
純度: | 99.95% |
耐摩耗性: | 非常に良い |
酸化耐性/耐腐食性: | 最高650°Cまでの空気中での高温酸化耐性 |
酸、アルカリなどの水溶液に優れた耐性 |
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