TranSiMax™ コーティング
- EUV光学コンポーネント
- 半導体チャンバーコンポーネント
仕様書
| 基材: | 対応材料: ほとんどの金属とセラミック |
| サイズ: 最大91 cm | |
| 形状: 複雑な形状を含む任意の形状 | |
| 構造: | アモルファス |
| 温度: | 成膜温度: 150°C |
| 使用温度: 1000°C | |
| コーティング厚: | 数 nmから100 μm超 |
| 電気抵抗率: | ˜1013 Ω-cm |
| 硬度: | 1200 DPHN |
| 純度: | 99.95% |
| 耐摩耗性: | 非常に良い |
| 耐腐食性: | 最高650°Cまでの空気中での高温酸化耐性 |
| 水溶液に優れた耐性 |
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