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2015/06/01

SUPERSiC® Silicon Carbide Materials
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  • 業種
  • プロセス
あらゆる横型炉システムに対応するシリコンカーバイド 製ウェーハキャリアソリューションです。
産業
  • 半導体
  • ソーラー/PV
プロセス
  • 成膜
洗浄および再利用が可能な高純度シリコンカーバイド製ダミーウェーハです。
産業
  • 半導体
  • ソーラー/PV
プロセス
  • 成膜
あらゆる横型炉システムに対応可能なSUPERSiC (スーパーSiC) シリコンカーバイド製のウェーハおよびウェーハキャリア ソリューションです。
産業
  • 半導体
  • ソーラー/PV
プロセス
  • 成膜
特定のビームライン領域の要件に合致したグラファイト/シリコンカーバイドのグレードの最適化されたビームライン部品です。
産業
  • 半導体
プロセス
  • 注入
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