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Integra® Plus WS 空圧式バルブ、3/4" オリフィス、二方弁

半導体プロセス用途の腐食性薬液に対応するよう設計されたこれらのバルブは、システムに柔軟性を与え、どのような流体制御システムにも簡単に取り付けることができます。 
  • ウェアタイプの設計により、流路を簡素化し、デッドボリュームを解消しています。その結果、流路を清浄で汚染物質のない状態に保ちながら穏やかな流れを実現します。
  • 一体型のダイヤフラムは接着剤を必要とせず、また分離することがないため、真空用途での信頼性が向上します。
  • PFAまたはPTFE製の接液面は高純度薬液、溶剤、純水での使用にに適した耐薬品性を備えています。
  • PrimeLock®、Flaretek®、「スペースセーバー」、PureBond®などの各種継手は、システムに柔軟性を与え、どのような流体制御システムにも簡単に取り付けることができます。バイポーラ接続(ピュアボンド x プライムロックまたはフレアテック)により、設置面積とコストを削減できます。
  • 安全性をさらに高める自動位置検出オプションを提供

 

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  • 構成によっては不可能な場合があります。複数の特注機能が必要な場合は、インテグリスまでお問い合わせください。
  • フッ素系界面活性剤を含む流体のハンドリングで「スペースセーバー」ポート接続を使用される場合は、インテグリスまでお問い合わせください。

 

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