GateKeeper® HXシリーズ ガス精製システム
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仕様書
モデル | GPS20HX | GPS30HX | GPS50HX | GPS60HX |
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精製対象ガス: | 水素(H2)、窒素(N2)、アルゴン(Ar) | |||
メディア: | 無機物 | |||
除去対象不純物: | アルゴンおよび窒素中の水分(H2O) 水素中の水分 (H2O) | < 50 ppt < 100 ppt | ||
一酸化炭素 (CO) | < 1 ppb | |||
二酸化炭素 (CO2) | < 100 ppt | |||
酸素 (O2) | < 400 ppt | |||
非メタン炭化水素 (C5 以上) | < 1 ppt | |||
使用圧力範囲: | 0.55 – 1.72 MPa | |||
圧力損失: | < 103.4 kPa (入口圧力が0.69 MPaで最大流量時) | |||
最高使用流量: | 20 Nm3/hr (311 SLM) | 30 Nm3/hr (466 SLM) | 50 Nm3/hr (776 SLM) | 60 Nm3/hr (932 SLM) |
使用ガス温度: | 15 °C – 40 °C | |||
ろ過精度: | ISOクラス1 (0.1 µmの粒子が10個/m3以下、0.2 μmの粒子が 2個/m3以下) | |||
リークレート: | 1 × 10-9 atm cc/sec |
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