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  • ウェーハの再生

流体管理

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  • FluoroPure® 薬液容器

    • FluoroPure® HDPEブロー成形ドラム

      • FluoroPure® アドバンテージ トライレイヤー HDPEブロー成形ドラム

      • FluoroPure® トライレイヤーHDPE ブロー成形ドラム

    • FluoroPure® 複合ドラム

    • FluoroPure®カスタム製品

  • NOWPak®ライナーベースシステム

  • Sentry®クイックコネクトシステム

  • FluoroPure®中間バルクコンテナ

  • FluoroPure® ポートのオプション、ツール、アクセサリ

  • カスタム仕様のディップチューブ、タンク、コンテナ

  • FluoroPure®圧力容器

  • プロセスタンク

• 流体のハンドリング

  • 継手

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    • PrimeLock®用 アクセサリ

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    • Flaretek®用アクセサリ

    • Cynergy®継手

    • Cynergy®用アクセサリ

    • EP PFAフレア継手

    • EP PFAフレア継手アクセサリ

    • PureBond®溶着チューブ継手

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    • Quikgrip® PFAナット

    • インテグラルフルール チューブ継手

    • インテグラルフェルール チューブ継手用アクセサリ

    • PFA製 バーブ継手

    • 二重配管継手

    • PureBond®溶着パイプ継手

    • PureBond®アクセサリ

    • NPTパイプ継手

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  • バルブ

    • CR および CH バルブ

      • CR4シリーズ バルブ

      • CR8シリーズ バルブ

      • CH8シリーズ 高温用バルブ

    • Integra®バルブ

    • Cynergy®バルブ

    • EP PFAバルブ

    • マニホールドおよびアッセンブリー

    • プラグバルブ

    • ニードル/計量バルブ

    • ストップコックバルブ

    • チェックバルブ

    • バルブ用 アクセサリ

  • 流体制御用の補助製品

    • スプレー製品

    • アスピレーター

    • ネジ類

  • バルブ 選択ツール

  • 継手 選択ツール

  • チューブおよびパイプ

  • カスタム製品

• プロセスのモニタリング

  • プロセスの制御

    • InVue™ インテグレーテッド 流量コントローラ

    • NT™ 流量制御バルブ

    • フォトケミカル ディスペンス システム

  • プロセスの管理

    • 濃度計

    • 差圧式流量計

    • NT™圧力トランスデューサ

  • 粒子特性評価

ガスのろ過、精製

• ガスディフューザー

  • Chambergard™ ガス ディフューザー

• ガスフィルター

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  • プロセス装置用 ケミカル フィルター

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  • DUV、EUVスキャナー用 ケミカル フィルター キャビネット

• ガスピューリファイヤー

ハードディスク部品のハンドリング

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液体のろ過、精製

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特殊材料

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• Advanced Cleaning Materials

特殊ガス

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• ガス供給用 キャビネット システム

• ガス

ウェーハハンドリング

• ウェーハプロセス用製品

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  • CMP パッドおよびパッドコンディショナー

  • 300 mm FOUP

  • 200 mm ウェーハ用工程内容器

  • 200 mmウェーハ用アクセサリ

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  • 125 mm ウェーハ用工程内容器

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  • 実験用器具

  • 静電チャック

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  • 125 mmウェーハ用出荷容器

  • 100 mmウェーハ用出荷容器

  • 3インチ ウェーハ用出荷容器

  • 2.5 インチ以下のウェーハ用出荷容器

• 完成品ウェーハ用 出荷容器

  • SmartStack® 非接触型 ホリゾンタルウェーハシッパー

  • SmartStack® ホリゾンタル ウェーハ シッパー

  • フィルムフレームシッパー および リング

関連資料

技術情報

• 計算およびその他のツール

• Entegris Test Standards and Protocols

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• 耐薬品性

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• 粒子特性評価のアプリケーション

• Chemlock® Filter Housing Technical Information

業界に潜在する問題/ニーズ

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• 完璧なパターンの追求

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