フィルムフレームリング
- 出荷時およびハンドリング時にウェーハを安全に支持
仕様書
| ウェーハサイズ | 寸法 | |
| X | Z | |
| 150 mm | 216 mm | 2.2 mm |
| 200 mm | 276 mm | 2.6 mm |
| 300 mm | 380 mm | 3.5 mm |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
| 型番 | ウェーハサイズ | 材質 | RFID |
|---|---|---|---|
| FFP150-217-1904 | 150 mm | スチレンアクリロニトリル(赤) | なし |
| FFP200-276-4602 | 200 mm | ポリフェニレンサルファイド(黒) | なし |
| FFP300-380-4602 | 300 mm | ポリフェニレンサルファイド(黒) | なし |