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Chambergard™ BGN ファスト ベント ディフューザー

Chambergard (チャンバーガード) BGN は、粒子を巻き上げることなくロードロックやトランスファーチャンバー内の速やかにベントし、大量のスループットを実現します。

  • 特許取得済みの焼結ニッケルの技術は、さまざまなアプリケーションで優れた性能を提供
  • ガス中の 0.0015 µm 以上の粒子を除去し、ウェーハの欠陥を最小限に抑制
  • コンパクト設計
  • 既存装置への導入、レトロフィットによるダウンタイムの削減
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