MaxMT™ 薬液送液システム
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アプリケーション
- フォトレジスト/カラー レジスト
- マイクロエレクトロニクス分野向け低粘度薬液
- その他の液体コーティング分野
- システムは製造装置と統合可能で、10 ～ 40 L の ナウパック ライナーベースキャニスターシステムおよびクロージャー用に設計
仕様書
コントロールボックス | ||
| 要件 | 電源 | 24 VDC、1 A 以上 |
| 圧力 | 551.6 kPa の高純度窒素が必要 (グレード 5.0 以上) | |
| 接続 | 電源 | 24 VDC、3 芯メスコネクタ (カスタマーインターフェースとして裸線出し)、1.8 m ケーブル (付属品) |
| ツールインターフェースの空検知信号 | 3 芯 6 極オス コネクタ (カスタマーインターフェースとして裸線出し)、1.8 m ケーブル (付属品) | |
| 窒素供給 | 直径 8 mm のチューブ接続 (窒素供給用のチューブは付属していません) | |
| 構成材料 (非接液面) | 筐体 | ステンレススチール |
| ウィンドウ | PTFE 被膜ポリカーボネート | |
| 開始ボタン、停止ボタン、オン/オフ スイッチ、非常停止 (EMO) ボタン | ポリエステル | |
| ラベル | アルミニウム | |
| エア継手 | ステンレススチール | |
| 空検知信号ケーブル | ポリプロピレン | |
| 電源ケーブル | ポリプロピレン | |
| 排気マフラー | ポリエチレン、ポリアセタール | |
| コントロール ボックスとコネクタ間の配管/配線距離 | 1.8 m | |
| 重さ | 10.6 kg | |
コネクタ | ||
| 接続 | レベルセンサーケーブル | コントロールボックス接続用 4 極ピン ケーブル、長さ 1.8m |
| 空検知センサーケーブル | コントロール ボックス接続用 4 極ピン ケーブル、長さ1.8 m | |
| ヘッドスペースガス除去バルブ駆動 | コントロールボックス接続用 4 mm チューブ、長さ 1.8 m (付属品) | |
| 送液バルブ 駆動 | コントロール ボックス接続用 6 mm チューブ、長さ 1.8 m (付属品) | |
| キャニスター加圧 | コントロール ボックス接続用 8 mm チューブ、長さ 1.8 m (付属品) | |
| ヘッドスペース ガス除去バルブからドレン | 3 mm PFA チューブ、長さ 1.8 m (付属品) | |
| コネクタプローブの流路直径 | 直径 6.35 mm 以上 | |
| 送液バルブの直径 | 4 mm (固定オリフィスによる制限は 1.2 mm) | |
| ヘッドスペース ガス除去バルブの直径 | 2 mm (固定オリフィスによる制限は 1 mm) | |
| 送液バルブからマニュアルバルブ アッセンブリー | 6 mm PFAチューブ、長さ 1.8 m (付属品) | |
| マニュアルバルブ アッセンブリー | 6 mm PFA ティ継手 2 個とマニュアルバルブ のアッセンブリー | |
| スレッド タイプ | 2 1/4" アクメ ネジ (二条ネジ) | |
| 性能 | 操作圧力 | 最大 103.4 kPa (米国内) |
| 最大 206.8 kPa (米国外) | ||
| コネクタのプレッシャー リリーフ バルブ | 公称クラッキング圧 241.3 kPa | |
| 流体温度 | 25 °C | |
| 構成材料 (接液部) | プローブ/リザーバー | PTFE |
| リザーバー ノズル/フィルター | PTFE | |
| リザーバー プラグ | PTFE | |
| リザーバー O リング | Chemraz® (ケムラッツ) | |
| ヘッドスペース ガス除去バルブ | PFA | |
| 送液バルブ | PFA | |
| 固定オリフィス | PTFE | |
| プローブ O リング | Kalrez® (カルレッツ) | |
| エルボ継手 | PFA | |
| 圧力トランスデューサ | PTFE (ケーブル スリーブは PFA) | |
| 3 mm ヘッドスペース ガス除去ドレン チューブ | PFA | |
| 6 mm 送液バルブチューブ | PFA | |
| マニュアルアッセンブリー ティ | PFA | |
| マニュアルアッセンブリー バルブ | PFA | |
| 構成材料 (非接液面) | ネジ | ステンレススチール |
| ロックワッシャー | ステンレススチール | |
| カバー | 陽極酸化アルミニウム | |
| コネクティングロッド | 陽極酸化アルミニウム | |
| レベルセンサーケーブル | PE (ケーブルスリーブは PFA) | |
| 取り付けピン | ステンレススチール | |
| 合わせピン | ステンレススチール | |
| ベース | 陽極酸化アルミニウム | |
| ガス入口継手 | ステンレススチールとポリプロピレン | |
| プレッシャーリリーフバルブ | ステンレススチールおよび Viton® (バイトン) | |
| ブッシング | PTFE | |
| リテーナーガスケット | EPDM | |
| リテーナー | ナチュラル ポリプロピレン | |
| リテーナー O リング | EPDM | |
| カラー | 陽極酸化アルミニウム | |
| 赤色 4 mm チューブ | ポリウレタン | |
| 赤色 6 mm チューブ | ポリウレタン | |
| 赤色 8 mm チューブ | ポリウレタン | |
| 青色 4 mm チューブ | ポリウレタン | |
| 青色 6 mm チューブ | ポリウレタン | |
| 青色 8 mm チューブ | ポリウレタン | |
| ケーブル スリーブ | PET | |
| 重さ | 2.81 kg | |
| 製造標準 | 国際標準 ISO 14644-1：1999 『クリーンルームおよび関連制御環境－第 1 部：空気清浄度の分類』に準拠したクラス 5 クリーンルームで製造および検査を実施。コネクタは、高純度窒素を使用した圧力保持試験を 100 % 実施。 | |
| 清浄度 | コネクタはインテグリスが定めるプロセスおよび手順に従って製造され、潤滑剤その他の異物を含まない。 | |
| 梱包形態 | コントロール ボックスは、2 つの端部保護発泡材を使用し、段ボール箱にて出荷。コネクタはクリーンルーム内で熱溶着された PE 製の内袋と熱溶着された PE 製の外袋で二重に個包装し、全面を発泡材で覆い、段ボール箱にて出荷。 | |
| ラベル | トレーサビリティー確保のため、各コントロール ボックスの内側にシリアル番号を記載。 | |
| トレーサビリティー確保のため、各コネクタには部品番号とシリアル番号が記載されたラベルを貼付。 | ||
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番
| 型番 | 製品タイプ |
|---|---|
| EDA-D | Gas cleaning fixture for MaxMT™ system connector |
| EDA-G | In/out extension cable kit |
| ND-ED-CB-2 | MaxMT™ control box |
| ND-ED-CN-2 | MaxMT™ dispense connector |
| ND-ED-S-2 | MaxMT™ chemical dispense system |
| PA-06 | Probe O-rings, Perfrez®, 2 pc |
| PA-08 | Retainer O-rings, EPDM, 10 pc |