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  • ウェーハの再生

流体管理

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  • FluoroPure® 薬液容器

    • FluoroPure® HDPEブロー成形ドラム

      • FluoroPure® アドバンテージ トライレイヤー HDPEブロー成形ドラム

      • FluoroPure® トライレイヤーHDPE ブロー成形ドラム

    • FluoroPure® 複合ドラム

    • FluoroPure®カスタム製品

  • NOWPak®ライナーベースシステム

  • Sentry®クイックコネクトシステム

  • FluoroPure®中間バルクコンテナ

  • FluoroPure® ポートのオプション、ツール、アクセサリ

  • カスタム仕様のディップチューブ、タンク、コンテナ

  • FluoroPure®圧力容器

  • プロセスタンク

• 流体のハンドリング

  • 継手

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    • PrimeLock® ESD チューブ継手

    • PrimeLock®用 アクセサリ

    • Flaretek® チューブ継手

    • Flaretek®用アクセサリ

    • Cynergy®継手

    • Cynergy®用アクセサリ

    • EP PFAフレア継手

    • EP PFAフレア継手アクセサリ

    • PureBond®溶着チューブ継手

    • Quikgrip®チューブ継手

    • Quikgrip® PFAナット

    • インテグラルフルール チューブ継手

    • インテグラルフェルール チューブ継手用アクセサリ

    • PFA製 バーブ継手

    • 二重配管継手

    • PureBond®溶着パイプ継手

    • PureBond®アクセサリ

    • NPTパイプ継手

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  • バルブ

    • CR および CH バルブ

      • CR4シリーズ バルブ

      • CR8シリーズ バルブ

      • CH8シリーズ 高温用バルブ

      • CRE4 Series Valves

      • CRE8 Series Valves

    • Integra®バルブ

    • EP PFAバルブ

    • マニホールドおよびアッセンブリー

    • プラグバルブ

    • ニードル/計量バルブ

    • ストップコックバルブ

    • チェックバルブ

    • バルブ用 アクセサリ

    • Integra® Plus WS ESD Valves

  • 流体制御用の補助製品

    • スプレー製品

    • アスピレーター

    • ネジ類

  • バルブ 選択ツール

  • 継手 選択ツール

  • チューブおよびパイプ

  • カスタム製品

• プロセスのモニタリング

  • プロセスの制御

    • InVue™ インテグレーテッド 流量コントローラ

    • NT™ 流量制御バルブ

    • フォトケミカル ディスペンス システム

  • プロセスの管理

    • 濃度計

    • 差圧式流量計

    • NT™圧力トランスデューサ

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ガスのろ過、精製

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• ガスフィルター

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  • プロセス装置用 ケミカル フィルター

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  • DUV、EUVスキャナー用 ケミカル フィルター キャビネット

• ガスピューリファイヤー

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液体のろ過、精製

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特殊ガス

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• ガス

ウェーハハンドリング

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  • 125 mmウェーハ用出荷容器

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  • 3インチ ウェーハ用出荷容器

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• 完成品ウェーハ用 出荷容器

  • SmartStack® 非接触型 ホリゾンタルウェーハシッパー

  • SmartStack® ホリゾンタル ウェーハ シッパー

  • フィルムフレームシッパー および リング

関連資料

技術情報

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• Entegris Test Standards and Protocols

• 公式

• 耐薬品性

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• 粒子特性評価のアプリケーション

• Chemlock® Filter Housing Technical Information

業界に潜在する問題/ニーズ

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