CRE4シリーズ ESD空圧式、1/4"オリフィス、二方弁、ノーマリークローズ、チューブ
- 可燃性溶剤やその他の非導電性半導体用薬液および半導体処理アプリケーションにおける腐食性薬液用に設計されています。
- 高純度の腐食性薬液のハンドリング
- あらゆる半導体のウェーハの洗浄・剥離(WEC)プロセス用薬液
- 薬液ラインサイズ9.53 mm (3/8"") 以下
仕様書
過酷な環境への耐久性を備えたバルブ
- 金属部品の露出がない CRE4 シリーズバルブは、完全にシールされ、過酷な薬液環境から保護
寸法 | ||||
ポート接続 | 流量係数 CV | 流量係数 KV | A | B |
6.35 mm (1/4")"プライムロック | 0.34 | 4.9 | 80.8 mm (3.18"") | 13.0 mm (0.51") |
9.53 mm (3/8")"プライムロック | 0.84 | 12.0 | 80.8 mm (3.18"") | 15.5 mm (0.61"") |
材質 | すべての接液部 | PFA、導電性PFA | |
外部アクチュエータ部品 | PVDF、バイトン®® | ||
内部アクチュエータ部品 | PVDF、SST、バイトン | ||
取り付け用ベース | PVDF | ||
使用条件1 | 最高使用圧力: | 21°℃ | 入口: - 91.3 ~ 552 kPa"1 |
出口: - 91.3 ~ 276 kPa"1 | |||
100°℃° | 入口: 414 kPa | ||
出口: 207 kPa | |||
エア供給圧 | 345 ~ 552 kPa1 | ||
温度範囲 | 周囲温度 | 23 ~ 50°℃ | |
流体温度 | 21 ~ 100°℃°1°° | ||
エア供給ポート | 6.35 mm (1/4")"チューブ出し | ||
適合規格 | RoHs & WEE |
1実際のバルブ性能は圧力と温度によって異なります。性能データの実際の数値を参照してください。
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
-
01-003444
Mounting base for use with all 1/4" 2-way CR4 Series and SG Series valves
-
CR4-2CT-RKIT
Repair kit for 1/4" 2-way CR4 Series pneumatic, normally closed, tube valves
-
GS-CRE4
Grounding straps for CRE4 ESD Valves
型番 | 入口 | 出口 |
---|---|---|
CRE4-2C-4KK | 6.35 mm (1/4") PrimeLock® | 6.35 mm (1/4") PrimeLock® |
CRE4-2C-6KK | 9.52 mm (3/8") PrimeLock® | 9.52 mm (3/8") PrimeLock® |