CRE4シリーズ ESD空圧式、1/4"オリフィス、二方弁、ノーマリークローズ、ルアー
- 可燃性溶剤やその他の非導電性半導体用薬液
- 高純度の腐食性薬液のハンドリング
- あらゆる半導体のウェーハの洗浄・剥離(WEC)プロセス用薬液
- 薬液ラインサイズ9.53 mm (3/8"") 以下
仕様書
過酷な環境への耐久性を備えたバルブ
- 金属部品の露出がない CR4 シリーズバルブは、完全にシールされ、過酷な薬液環境から保護
- マニホールドをカスタマイズして薬液供給システムに組み込み可能なモジュール型設計
- インテグリスの独立型 Galtek® (ガルテック® ) SG シリーズバルブや Dymension® (ダイメンション® ) バルブマニホールドと同様の設置面積で設計されているため、既設の装置への後付けや交換が容易
寸法 | ||||
ポート接続 | 流量係数 CV | 流量係数 KV | A | B |
6.35 mm (1/4"")プライムロック | 0.34 | 4.9 | 80.8 mm (3.18"") | 13.0 mm (0.51") |
9.53 mm (3/8"")プライムロック | 0.84 | 12.0 | 80.8 mm (3.18"") | 15.5 mm (0.61"") |
流量調節開/閉(上の5番目の図面に記載)
注: 高さ寸法は開位置のステムを含みます。
- 流量調節開オプションを使用すると、空圧式制御バルブの開行程の可変リミットを手動制御可能
- 流量調節閉オプションを使用すると、空圧式制御バルブの閉行程の可変リミットを手動制御可能
- 両オプションは、ノーマリークローズとノーマリーオープンの空圧式アクチュエータで提供
センサー(オプション)の寸法情報(上の6番目の図面に記載)
バルブの開/閉位置を電気的に監視するポジションセンサーオプションをご用意しています。
注:ポジションセンサーインジケータを使用するにはバルブに取り付けるOmron®®センサー(-OM)が必要です。さらに、オムロンのポジションセンサーインジケータ(EE-SX771RまたはEE-SX771A、別売)も必要となります。
材質 | すべての接液部 | PFAおよび導電性PFA | |
外部アクチュエータ部品 | PVDF、バイトン®® | ||
内部アクチュエータ部品 | PVDF、SST、バイトン | ||
取り付け用ベース | PVDF | ||
使用条件1 | 最高使用圧力: | 21 °℃ | 入口: - 91.3 ~ 552 kPa"1 |
出口: - 91.3 ~ 276 kPa"1 | |||
100°℃° | 入口: 414 kPa | ||
出口: 207 kPa | |||
エア供給圧 | 345 ~ 552 kPa1 | ||
温度範囲 | 周囲温度 | 23 ~ 50°℃ | |
流体温度 | 21 ~ 100°℃°1°° | ||
エア供給ポート | 6.35 mm (1/4")"成形メス、ルアーラグ式 | ||
適合規格 | RoHs & WEE |
1:実際のバルブ性能は圧力と温度によって異なります。性能データの実際の数値を参照してください。
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
-
01-003444
Mounting base for use with all 1/4" 2-way CR4 Series and SG Series valves
-
CR4-2CL-RKIT
Repair kit for 1/4" 2-way CR4 Series pneumatic, normally closed, Luer valves
-
GS-CRE4
Grounding straps for CRE4 ESD Valves
型番 | 入口 | 出口 |
---|---|---|
CRE4-2CL-4KK | 6.35 mm (1/4") PrimeLock® | 6.35 mm (1/4") PrimeLock® |
CRE4-2CL-6KK | 9.52 mm (3/8") PrimeLock® | 9.52 mm (3/8") PrimeLock® |