150 mm レチクルSMIFポッド
- レチクルのハンドリング
仕様書
Material | STAT-PRO® 435 | |
Reticle capacity | 1 | |
Reticle size | 152 mm × 152 mm × 6.35 mm (5.984” × 5.984” × 0.250”) | |
Weight | Without reticle | 760 grams (1.68 lb) |
With reticle | 1100 grams approx. (2.43 lb) | |
Colors | STAT-PRO 435 | Transparent |
Carbon filled | Opaque |
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型番 | ラベル壁 | RFID | ドームの材質 | ドアのタイプ | 製品詳細 | 製品タイプ |
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9701-0106-01 | なし | N/A | N/A | N/A | LIT SEAL Q20 RSP 150 | キット |
9701-0108-01 | なし | N/A | N/A | N/A | KIT FILTER CAP Q100 | キット |
9701-0109-01 | なし | N/A | N/A | N/A | KIT FILTER Q100 RSP | キット |
9702-0021-01 | 白 | N/A | N/A | N/A | KIT - FLAG-ASML-CANO | キット |
9702-3173-04 | なし | N/A | N/A | N/A | KIT - LATCH 01-03953 | キット |
9790-0017-02 | なし | N/A | N/A | N/A | T FILTER 100 EA | キット |
RSP1-1001 | なし | なし | ABS (透明バイオレット) | 標準ドア | FA、RSP150、CLR | RSP150 |
RSP1-1007-0 | 白 | あり | ABS (透明バイオレット) | 標準ドア | ASSY RSP150 CLR RFID | RSP150 |
RSP1-1054 | なし | あり | ABS (透明バイオレット) | DiRPドア | ASSY RSP150 AK HANDL | RSP150 |
RSP1-1073 | なし | なし | CNT PEI (黒) | DiRPドア | RSP150 DIRP ATO HDL | RSP150 |
RSP1-1074 | なし | あり | CNT PEI (黒) | DiRPドア | RSP150 DIRP AK HDL W | RSP150 |
RSP1-1082 | あり | あり | ABS (透明) | DiRPドア | DRP150 ATO HDL LBL W | RSP150 |
RSP1-1082-93 | 倒れ止め(黒/黒) | あり | ABS (透明) | DiRPドア | RSP150 STD DIRP BLK | RSP150 |
RSP1-2082-94 | 倒れ止め(赤/赤) | あり | ABS (透明) | DiRPドア | RSP150 HVY DIRP RED | RSP150 |
RSP1-2553 | なし | なし | ABS (透明バイオレット) | DiRPドア | ASSY RSP150 AK HANDL | RSP150 |
RSP1-2554 | なし | あり | ABS (透明バイオレット) | DiRPドア | ASSY RSP150 AK HANDL | RSP150 |
RSP1-2574 | なし | あり | CNT PEI (黒) | DiRPドア | RSP150 DIRP HEAVY AK | RSP150 |