マルチプル レチクルポッド
- マスクのハンドリング
- レチクルのハンドリング
仕様書
収容枚数 | 最大 6 枚のレチクル |
レチクルのサイズ | 5 インチ角または 6 インチ角 |
UV 透過率 (ABS 製ドーム) | ~ 0 % @ 470 nm |
帯電防止性能 | < 2 sec |
重さ (カセットあり) | 2.2 kg |
フットプリント | 214 mm x 230 mm |
色 | 透明 |
ハンドルの色 | 黒、グレー、または赤 |
洗浄 | 分解せずに洗浄可能 |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
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9700-7755-01
150 mm MRP wafer lock kit
型番 | ドームの材質 | マスクサイズ | エルゴハンドルの色 | Cassette | ドアのタイプ |
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9700-3549-01 | ポリカーボネート (透明) | 152 mm 角 (6 インチ角) | 赤 | なし | なし |
9700-9851-01 | ABS (透明) | 152 mm 角 (6 インチ角) | 赤 | なし | なし |
9700-9851-02 | ABS (透明) | 152 mm 角 (6 インチ角) | グレー | なし | なし |
9700-9851-50 | ABS (透明) | 152 mm 角 (6 インチ角) | グレー | スタンダード | メタル |
9700-9851-51 | ABS (透明) | 152 mm 角 (6 インチ角) | グレー | パージ付き | メタル |
9700-9852-02 | ABS (透明) | 152 mm 角 (6 インチ角) | 赤 | なし | SRP |
9700-9853-01 | ABS (透明) | 152 mm 角 (6 インチ角) | 赤 | なし | アンチローテーションピン付き |
9700-9856-01 | ABS (透明) | 127 mm 角 (5 インチ角) | 黒 | なし | アンチローテーションピン付き |