Eximor® SV1 ディスポーザブル フィルター
- RRC 用溶剤
- NTD 用現像液
仕様書
材質 | フィルター | UPE |
シェル、コア、サポート | 高密度ポリエチレン (HDPE) | |
O-リング (OFタイプ) | カルレッツ | |
使用条件 | 最高使用圧力 | 0.34 Mpa @ 25 °C |
最大許容正差圧/逆差圧 | 0.27 MPa @ 25 °C | |
最高使用温度 | 40 °C | |
対応薬液 | シクロヘキサノン (CHN)、メチルアミルケトン (MAK)、 n-酢酸ブチル (nBA)、乳酸エチル (EL)、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート (PGMEA)、プロピレングリコールモノメチルエーテル (PGME)、すべての PGME/PGMEA 混合溶剤 | |
ホールド アップ ボリューム | 110 mL | |
流量 | 250 mL/min (20 °C、1 mPa•s) @ 圧力損失 0.03 MPa | |
インテグリスは、最適なろ過性能を確保するために、少なくとも1年に1回はフィルターを交換することをお勧めします。 定期的な交換は、過度の使用から生じる化学物質の漏れの可能性を減らします。 インテグリスの標準保証期間は出荷日から1年です。 |
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型番 | 製品タイプ |
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EX1KCL0K1 | エキシモア SV1 ディスポーザブル フィルター |