Eximor® SV1フィルター用 フラッシングシェル
- フォトリソグラフィ工程用装置内
- RRC 溶剤
仕様書
エキシモア SV1 フィルター用 フラッシングシェル (Impact® 8G フラッシングシェルに基づく) |
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ホールドアップボリューム | 1 mL | ||
耐薬品性 | ウェブサイトの 耐薬品性 ページをご確認ください | ||
樹脂 | クリーン | ||
内部表面積 | 1.4 cm² | ||
使用条件 | 最高使用圧力: 0.34 MPa @ 25 °C 最高使用温度: 40 °C |
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注意:フラッシングシェルの使用は、装置立ち上げ時の装置洗浄や配管洗浄などの短期間(1か月以内)での使用に限定しており、フィルターの代替としての長期使用、特に溶剤を満たし加圧した状態での長期使用は保証の適用外となります。 | |||
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型番 | 製品タイプ |
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EX00000K2 | エキシモア SV1フィルター用 フラッシングシェル |