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インテグリスの高純度シリコンカーバイドコーティング、SilicoMax™の詳細をご確認ください。業界をリードするPECVDコーティング技術ソリューション
産業
  • 半導体
  • ソーラー/PV
プロセス
  • フォトリソグラフィ
  • ウェーハの処理
  • イオン注入
  • 成膜
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コーティング厚
  • 2 - 3 nmレベルから60 µm超
耐腐食性
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インテグリスの硬質の窒化ケイ素コーティング、TranSiMax™の詳細をご確認ください。業界をリードするPECVDコーティング技術ソリューション
産業
  • 半導体
プロセス
  • フォトリソグラフィ
コーティング厚
  • 2 - 3 nmレベルから100 µm超
耐腐食性
  • 水溶液
インテグリスの非常に高い硬度を備えたダイヤモンドライクカーボン(DLC)コーティング、UltraC™ダイヤモンドの詳細をご確認ください。業界をリードするPECVDコーティング技術ソリューション
産業
  • 半導体
  • ソーラー/PV
プロセス
  • フォトリソグラフィ
  • 検査・測定
  • 医療機器
  • 医療装置
コーティング厚
  • 1 - 10 µm
耐腐食性
  • ほとんどの酸およびアルカリ
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