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2.5 インチ以下のウェーハ用工程内容器

シリコンウェーハを安全に輸送、保護するための様々な 2.5 インチ以下のウェーハハンドリング製品。

インテグリスは、50 年以上にわたるウェーハのハンドリングと搬送の実績をもとに、シリコンウェーハを安全かつ確実に保護・搬送するための 2.5 インチ以下のウェーハ工程内容器のソリューションを提供しています。

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2.5 インチ以下のウェーハキャリア
2.5 インチ以下のウェーハキャリア
2.5 インチ以下のウェーハキャリア
2 インチ (50.8 mm)、2.25 インチ (57.2 mm)、2.5 インチ (65 mm) ウェーハを安全に保護する便利で使いやすいウェーハキャリア
製品の種類
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2.5 インチ以下のウェーハ用保管ボックス
2.5 インチ以下のウェーハ用保管ボックス
2.5 インチ以下のウェーハ用保管ボックス
2.5 インチ以下のウェーハキャリアを 1 つ収納できる便利なウェーハ用保管ボックス
製品の種類
  • プロセス用ウェーハキャリア
  • 保管用ボックス
関連製品カテゴリー
200 mm ウェーハ用工程内容器

50 年以上にわたる高度なウェーハハンドリングと搬送の実績を基に、安全で信頼性の高い 200 mm ウェーハ プロセス用のソリューションを提供しています。
 
150 mmウェーハ用工程内容器

高度な150 mmウェーハハンドリングにおける半導体業界の要求に対応するため、インテグリスはシリコンウェーハを安全に搬送するための様々なウェーハキャリア、ハンドリングソリューション、アクセサリを提供しています。
125 mm ウェーハ用工程内容器

最新の '125 mm (5") ファブの自動化、汚染、生産性に関する問題に対応する、信頼性の高いウェーハ キャリアおよび保管用ボックス。

150 mm 以下のウェーハキャリア用アクセサリ

150 mm (6")、125 mm (5")、および 100 mm (4") ウェーハの保管およびハンドリング製品に使用できるウェーハキャリア用ハンドル、ウェーハリテーナー、保管ボックス用クッション、トラベラーなどをご紹介します。
100 mm ウェーハ用工程内容器

インテグリスは、50 年以上に及ぶ高度なウェーハの処理と輸送の実績を活かし、シリコン ウェーハを安全かつ信頼できる方法で輸送する 100 mm (4") ウェーハ処理ソリューションを提供しています。

300 mm FOUP

インテグリスのFOUP (Front Opening Unified Pod) は、300mmウェーハの安全な搬送、保管、保護を実現します。
200 mmウェーハ用アクセサリ

メンテナンスキット、アッセンブリーなどウェーハ製造に役立つ多数のアクセサリがあります。
実験用器具

ウェーハプロセスをサポートする様々な実験用器具を取り揃えています。ピンセット、トング、真空プローブ、ビーカー、漏斗 (ロート)、ストレーナー、ディッパー、バスケット、トレーなどをご紹介します。
76.2 mm (3") ウェーハ用工程内容器

インテグリスは、50 年以上に及ぶ高度なウェーハの処理と輸送の実績を活かし、シリコン ウェーハを安全かつ信頼できる方法で輸送する 76.2 mm (3") ウェーハ処理ソリューションを提供しています。

静電チャック

インテグリスの静電チャックソリューションは、革新的なコーティング技術で非常に平坦な面を形成することにより、金属汚染の防止、パーティクルの低減、数百万サイクルに及ぶ耐久性を実現します

CMP 洗浄用ブラシ

インテグリスの Planarcore® (プレナコア) PVA ブラシ製品は、CMP 後のウェーハ洗浄において優れた性能とウェーハ間の均一性を提供します。
CMP パッド

インテグリスの CMP パッドの製品群は最適な硬度、孔径、圧縮率により、CMP アプリケーションの要件を満たします。

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