CMP 洗浄用ブラシ

50 年以上にわたる高度なウェーハハンドリングと搬送の実績を基に、安全で信頼性の高い 200 mm ウェーハプロセス用のソリューションを提供しています。

高度な150 mmウェーハハンドリングにおける半導体業界の要求に対応するため、インテグリスはシリコンウェーハを安全に搬送するための様々なウェーハキャリア、ハンドリングソリューション、アクセサリを提供しています。

最新の '125 mm (5") ファブの自動化、汚染、生産性に関する問題に対応する、信頼性の高いウェーハキャリアおよび保管用ボックス。

150 mm (6")、125 mm (5")、および 100 mm (4") ウェーハの保管およびハンドリング製品に使用できるウェーハキャリア用ハンドル、ウェーハリテーナー、保管ボックス用クッション、トラベラーなどをご紹介します。

インテグリスは、50 年以上に及ぶ高度なウェーハの処理と輸送の実績を活かし、シリコンウェーハを安全かつ信頼できる方法で輸送する 100 mm (4") ウェーハ処理ソリューションを提供しています。

インテグリスのFOUP (Front Opening Unified Pod) は、300mmウェーハの安全な搬送、保管、保護を実現します。

メンテナンスキット、アッセンブリーなどウェーハ製造に役立つ多数のアクセサリがあります。

ウェーハプロセスをサポートする様々な実験用器具を取り揃えています。ピンセット、トング、真空プローブ、ビーカー、漏斗 (ロート)、ストレーナー、ディッパー、バスケット、トレーなどをご紹介します。

インテグリスは、50 年以上に及ぶ高度なウェーハの処理と輸送の実績を活かし、シリコンウェーハを安全かつ信頼できる方法で輸送する 76.2 mm (3") ウェーハ処理ソリューションを提供しています。

インテグリスの静電チャックソリューションは、革新的なコーティング技術で非常に平坦な面を形成することにより、金属汚染の防止、パーティクルの低減、数百万サイクルに及ぶ耐久性を実現します

インテグリスは、50 年以上にわたるウェーハのハンドリングと搬送の実績をもとに、シリコンウェーハを安全かつ確実に保護・搬送するための 2.5 インチ以下のウェーハ工程内容器のソリューションを提供しています。

インテグリスの CMP パッドの製品群は最適な硬度、孔径、圧縮率により、CMP アプリケーションの要件を満たします。