フィルムフレームリング
- 出荷時およびハンドリング時にウェーハを安全に支持
仕様書
ウェーハサイズ | 寸法 | |
X | Z | |
150 mm | 216 mm | 2.2 mm |
200 mm | 276 mm | 2.6 mm |
300 mm | 380 mm | 3.5 mm |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | ウェーハサイズ | 材質 | RFID |
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FFP150-217-1904 | 150 mm | スチレンアクリロニトリル(赤) | なし |
FFP200-276-4602 | 200 mm | ポリフェニレンサルファイド(黒) | なし |
FFP300-380-4602 | 300 mm | ポリフェニレンサルファイド(黒) | なし |
FFP300-380-RF-4602 | 300 mm | ポリフェニレンサルファイド(黒) | あり |