マルチプル フィルムフレーム シッパー
150 mm、200 mm、および 300 mmの完成品ウェーハの保護:
- ウェーハの出荷
- ウェーハの保管
仕様書
Film Frame Ring Compatibility
Part Number | Wafer Size | Capacity | Film Frame Ring Size (X) | Film Frame Ring Thickness (Z) | Recommended Entegris Film Frame Ring |
E400-085-101 | 150 mm | 25 | 217.0 mm (8.54") | 1.22 mm (0.048") or 2.50 mm (0.097") | 1FFP150-217-xxx |
E400-083-101 | 150 mm | 25 | 212.0 mm (8.35") | 1.22 mm (0.048") or 2.40 mm (0.094") | --- |
E400-276-101 | 200 mm | 25 | 276.0 mm (10.87") | 1.22 mm (0.048") or 2.60 mm (0.102") | 1FFP200-276-xxx |
E400-266-101 | 200 mm | 25 | 266.7 mm (10.50") | 1.22 mm (0.048") or 1.85 mm (0.073") | --- |
E400-380-102 | 300 mm | 13 | 380.0 mm (14.80") | 1.22 mm (0.048") or 3.50 mm (0.137") | 1FFP300-380-xxx |
E400-380-101 | 300 mm | 13 | 380.0 mm (14.80") | 1.22 mm (0.048") or 1.50 mm (0.057") | --- |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | ウェーハサイズ | 材質 | Film Frame Ring Size | Film Frame Ring Thickness |
---|---|---|---|---|
E400-083-101-0609 | 150 mm | ポリプロピレン(オレンジ) | 212.0 mm (8.35") | 1.22 mm (0.048") or 2.40 mm (0.094") |
E400-083-101-0615 | 150 mm | ポリプロピレン(透明) | 212.0 mm (8.35") | 1.22 mm (0.048") or 2.40 mm (0.094") |
E400-083-101-67C02 | 150 mm | スタットプロ 125 (黒) | 212.0 mm (8.35") | 1.22 mm (0.048") or 2.40 mm (0.094") |
E400-085-101-0609 | 150 mm | ポリプロピレン(オレンジ) | 217.0 mm (8.54") | 1.22 mm (0.048") or 2.50 mm (0.098") |
E400-085-101-0615 | 150 mm | ポリプロピレン(透明) | 217.0 mm (8.54") | 1.22 mm (0.048") or 2.50 mm (0.098") |
E400-085-101-67C02 | 150 mm | スタットプロ 125 (黒) | 217.0 mm (8.54") | 1.22 mm (0.048") or 2.50 mm (0.098") |
E400-266-101-0615 | 200 mm | ポリプロピレン(透明) | 266.7 mm (10.50") | 1.22 mm (0.048") or 1.85 mm (0.073") |
E400-266-101-67C02 | 200 mm | スタットプロ 125 (黒) | 266.7 mm (10.50") | 1.22 mm (0.048") or 1.85 mm (0.073") |
E400-276-101-0609 | 200 mm | ポリプロピレン(オレンジ) | 276.0 mm (10.87") | 1.22 mm (0.048") or 2.60 mm (0.102") |
E400-276-101-0615 | 200 mm | ポリプロピレン(透明) | 276.0 mm (10.87") | 1.22 mm (0.048") or 2.60 mm (0.102") |
E400-276-101-67C02 | 200 mm | スタットプロ 125 (黒) | 276.0 mm (10.87") | 1.22 mm (0.048") or 2.60 mm (0.102") |
E400-380-101-0615 | 300 mm | PP-05 (透明) | 380.0 mm (14.80") | 1.22 mm (0.048") or 1.50 mm (0.059") |
E400-380-101-67C02 | 300 mm | スタットプロ 125 (黒) | 380.0 mm (14.80") | 1.22 mm (0.048") or 1.50 mm (0.059") |
E400-380-102-0615 | 300 mm | PP-05 (透明) | 380.0 mm (14.80") | 1.22 mm (0.048") or 3.50 mm (0.137") |
E400-380-102-67C02 | 300 mm | スタットプロ 125 (黒) | 380.0 mm (14.80") | 1.22 mm (0.048") or 3.50 mm (0.137") |
E400-380101N-0615 | 300 mm | PP-05 (透明) | 380.0 mm (14.80") | 1.22 mm (0.048") or 1.50 mm (0.059") |
E400-380101NC-0615 | 300 mm | PP-05 (透明) | 380.0 mm (14.80") | 1.22 mm (0.048") or 1.50 mm (0.059") |