SmartStack® ホリゾンタル ウェーハ シッパー
- 300 mm
- 200 mm
- 150 mm
産業別
マイクロエレクトロニクス
半導体
データストレージ
フラットパネル ディスプレイ
LED
その他の工業
航空宇宙
一般工業
ガラス
製造分野別
ロジック製造
メモリ製造
半導体装置製造
薬品製造
バイオプロセッサ
ソリューション別
コンタミネーション コントロール
流体管理
ライフサイエンス
特殊材料
基板のハンドリング
サービス別
分析サービス
フィールドサポートサービス
FOUPサービス
リファビッシュサービス
ガスピューリファイヤーの再生サービス
Technology Centers
China Technology Center
Life Sciences Technology Center
ベアダイ/チップトレー
トレー ウィザード
H20 シリーズ用アクセサリ
H44 シリーズ用アクセサリ
化学薬品
薬品供給システム
固体材料供給 システム
薬液供給システム
特殊配合薬品
Coating, Ink, and Adhesive Ingredients
Resin Monomers and Components
Surface Modifiers
ポスト CMP クリーニング
半導体用 クリーニング ソリューション
PlanarClean® クリーニング ソリューション
ESC クリーニング ソリューション
ワイド バンド ギャップ半導体用 クリーニング ソリューション
HDD メディア基板用 クリーニング ソリューション
ポストエッチング クリーニング
TitanKlean® クリーニング ソリューション
ST クリーニング ソリューション
NOE エッチャント クリーニング ソリューション
Precursors
Upstream ALD/CVD Precursors
Advanced Deposition Materials (ADM) ALD/CVD Precursors
エレクトロニクス用薬品
スラリー
Silanes
Organophosphorus Compounds
Specialty Acrylates and Methacrylates
Siloxanes
Specialty Additives
Ligands
ウェーハの再生
流体管理
リキッドパッケージング
FluoroPure® 薬液容器
FluoroPure® HDPEブロー成形ドラム
FluoroPure® アドバンテージ トライレイヤー HDPEブロー成形ドラム
FluoroPure® トライレイヤーHDPE ブロー成形ドラム
FluoroPure® 複合ドラム
FluoroPure®カスタム製品
NOWPak®ライナーベースシステム
Sentry®クイックコネクトシステム
FluoroPure®中間バルクコンテナ
FluoroPure® ポートのオプション、ツール、アクセサリ
カスタム仕様のディップチューブ、タンク、コンテナ
FluoroPure®圧力容器
プロセスタンク
流体のハンドリング
継手
PrimeLock® チューブ継手
PrimeLock® ESD チューブ継手
PrimeLock®用 アクセサリ
Flaretek® チューブ継手
Flaretek®用アクセサリ
Cynergy®継手
Cynergy®用アクセサリ
EP PFAフレア継手
EP PFAフレア継手アクセサリ
PureBond®溶着チューブ継手
Quikgrip®チューブ継手
Quikgrip® PFAナット
インテグラルフルール チューブ継手
インテグラルフェルール チューブ継手用アクセサリ
PFA製 バーブ継手
二重配管継手
PureBond®溶着パイプ継手
PureBond®アクセサリ
NPTパイプ継手
NPTネジ接続継手用アクセサリ
バルブ
CR および CH バルブ
CR4シリーズ バルブ
CR8シリーズ バルブ
CH8シリーズ 高温用バルブ
CRE4 Series Valves
CRE8 Series Valves
Integra®バルブ
Cynergy®バルブ
EP PFAバルブ
マニホールドおよびアッセンブリー
プラグバルブ
ニードル/計量バルブ
ストップコックバルブ
チェックバルブ
バルブ用 アクセサリ
Integra® Plus WS ESD Valves
流体制御用の補助製品
スプレー製品
アスピレーター
ネジ類
バルブ 選択ツール
継手 選択ツール
チューブおよびパイプ
カスタム製品
プロセスのモニタリング
プロセスの制御
InVue™ インテグレーテッド 流量コントローラ
NT™ 流量制御バルブ
フォトケミカル ディスペンス システム
プロセスの管理
濃度計
差圧式流量計
NT™圧力トランスデューサ
粒子特性評価
ガスのろ過、精製
ガスディフューザー
Chambergard™ ガス ディフューザー
ガスフィルター
その他の ガスフィルター
PTFE メンブレン製 インライン ガスフィルター
ステンレススチール製 インライン ガスフィルター
ニッケルメンブレン製 インライン ガスフィルター
集積 ガスフィルター
AMCフィルター
ステッパー / スキャナー用 ケミカル フィルター
プロセス装置用 ケミカル フィルター
クリーンルーム用 ケミカル フィルター
DUV、EUVスキャナー用 ケミカル フィルター キャビネット
ガスピューリファイヤー
ハードディスク部品のハンドリング
保管用ボックスおよび個別ディスクパック
リードライトトレーおよびキャリア
ディスクシッパー
ディスクプロセスキャリア
液体のろ過、精製
液体用 フィルター
液体用 ピューリファイヤー
液体用 フィルター ハウジング
マスクおよびレチクルのハンドリング
レチクルポッドおよびパージ キャビネット
マスクキャリアと出荷ボックス
マスクパッケージ
その他の基板のハンドリング
その他のデバイス用工程内容器
太陽電池用製品
特殊材料
高純度グラファイト
Industrial Graphite Grades
Semiconductor Graphite Grades
Life Sciences Graphite Grades
高純度 グラファイト 部品
ガラス成形用 グラファイト
GLASSMATE®コンポーネント
グラファイト処理の オプション
コーティング
静電チャック
プラズマ CVD コーティング
Caerus™ コーティング 技術
Pegasus™ コーティング 技術
高純度シリコンカーバイド
SUPERSiC® シリコン カーバイド 部品
SUPERSiC® シリコン カーバイド
Advanced Cleaning Materials
特殊ガス
特殊配合 ガス
ガス供給用シリンダーシステム
ガス供給用 キャビネット システム
ガス
ウェーハハンドリング
ウェーハプロセス用製品
CMP 洗浄用ブラシ
CMP パッドおよびパッドコンディショナー
300 mm FOUP
200 mm ウェーハ用工程内容器
200 mmウェーハ用アクセサリ
150 mmウェーハ用工程内容器
150 mm 以下のウェーハキャリア用アクセサリ
125 mm ウェーハ用工程内容器
100 mm ウェーハ用工程内容器
76.2 mm (3") ウェーハ用工程内容器
2.5 インチ以下のウェーハ用工程内容器
実験用器具
静電チャック
ウェーハ用 出荷容器
300 mm ウェーハ出荷容器
200 mmウェーハ用出荷容器
150 mmウェーハ用出荷容器
125 mmウェーハ用出荷容器
100 mmウェーハ用出荷容器
3インチ ウェーハ用出荷容器
2.5 インチ以下のウェーハ用出荷容器
完成品ウェーハ用 出荷容器
SmartStack® 非接触型 ホリゾンタルウェーハシッパー
SmartStack® ホリゾンタル ウェーハ シッパー
フィルムフレームシッパー および リング
関連資料
技術情報
計算およびその他のツール
Entegris Test Standards and Protocols
公式
耐薬品性
Material Properties and Safety
粒子特性評価のアプリケーション
Chemlock® Filter Housing Technical Information
業界に潜在する問題/ニーズ
3D NAND Solutions
先端成膜材料のイノベーション
完璧なパターンの追求
高純度薬液の供給
高純度ガスの供給
静電気放電 (ESD) の防止
End-to-End Gas Filtration Solutions
デバイスの性能、歩留まり、信頼性を実現する包括的なアプローチ
Silicon Carbide CMP Solutions
革新的な材料で先端技術の課題を解決
Targeted Contaminant Removal
Scientific Report
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インテグリスの日本法人
製造拠点
SmartStack® (スマートスタック) ホリゾンタル ウェーハ シッパーは、搬送、保管、出荷に至るまでイオンやアウトガス、機械的要因からウェーハを保護し、完全性を維持します。