Wafergard® III NF-30 インライン ガスフィルター
- ガス供給
- フォトリソグラフィ
- 成膜
- ドライエッチング
- イオン注入
仕様書
材質 | フィルターエレメント:焼結ニッケル製メンブレン ハウジング:F20 ステンレススチール (電解研磨) |
粒子清浄度 | 粒子数 *:0.01 µm 以上の粒子が 0.03 個/L 以下 |
除粒子径 | 0.0015 µm 以上 |
内面粗度 | 5 µin Ra 以下 |
He リークレート | 認定値:2 x 10-11 Pa・m3/sec 試験条件:1 x 10-10 Pa・m3/sec |
使用条件 | 最高使用圧力:1 MPa 未満 (日本国内における仕様) 最大許容正差圧/逆差圧:1 MPa |
最高使用温度 | 不活性ガス:400 °C 腐食性ガスおよび反応性の高いガス:50 °C |
製品保証 | 5 年 |
粒子捕捉率 | すべての粒子の 99.9999999 % (LRV 9) 以上を除去 @ 30 slpm すべての粒子の 99.9999 % 以上を除去 @ 75 slpm (最も透過しやすい粒子サイズにおいて) |
流量 | 性能データをご確認ください |
* 粒子清浄度は SEMASPEC の粒子シェディングの試験方法 (#93021511A-STD) に従って評価。
** 揮発性物質の清浄度は SEMASPEC の THC 放出 (#90120396B-STD)、水分放出 (#90120397B-STD)、酸素放出 (#90120398B-STD) の試験方法に従って評価。
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型番 | 継手サイズとタイプ | 長さ |
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WG3NS3FF2 | 入口/出口6.35 mm (1/4")ガスケットシール(VCR®継手互換)メス | 58.4 mm (2.30") |
WG3NS3JJ2 | 6.35 mm (1/4")突き合わせ溶着チューブ | 28.4 mm (1.12") |
WG3NS3RF2 | 入口6.35 mm (1/4")有極性ガスケットシール(VCR®継手互換)オス、出口同メス | 71.1 mm (2.80") |
WG3NS6RR2 | 入口/出口6.35 mm (1/4")ガスケットシール(VCR継手互換)オス | 84.1 mm (3.31") |
WG3NS6SL2 | 入口/出口6.35 mm (1/4")ガスケットシール(VCR継手互換)オス、ショートタイプ | 58.7 mm (2.31") |