Wafergard® SL 1.125" W-Seal ガスフィルター
コンパクトで省スペース設計のウェハーガード SL フィルターは、高流量特性により、以下のようなアプリケーションにおけるプロセスガスとパージガスに適しています。
- 超高純度ガスライン
- 高温ライン
- 圧力変動があるライン
- ガスパネル
仕様書
製品型番 | フィルタータイプ | 長さ (L) |
WGSLSFW1M | SF ミニ | 61 mm |
WGSLSHW1MP-T | SF ミニ プラス | 77 mm |
WGSLSFW1H | SF ミニ XL | 105 mm |
材質 | メンブレン | 316L ステンレス スチール |
ハウジング、エンド キャップ | Low sulfur 316L ステンレス スチール | |
内面処理 | Ra ≤ 0.17 µm | |
粒子捕捉率 | 0.0015 µm 以上の粒子を 99.9999 % 以上 (SF ミニ @ 30 L/min**、SF ミニプラス @ 50 L/min、SF ミニ XL @ 60 L/min) |
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初期清浄度 | 0.01 µm 以上の粒子が 0.03 個/L 以下 | |
接続 | 1.125" W-seal サーフェイスマウント | |
使用条件 | 常用圧力 | 0.99 MPa @ 20 °C |
最大許容差圧 | 0.99 MPa @ 20 °C | |
最高使用温度 | 120 °C (不活性ガス) | |
He リーク レート | 認証値 | 2 x 10-11 Pa•m3/sec |
試験値 | 1 x 10-10 Pa•m3/sec |
**20°C 101 kPa
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
型番 | Filter Type |
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WGSLSFW1H | SF Mini XL |
WGSLSFW1M | SF Mini |
WGSLSHW1MP-T | SF Mini Plus |