NT™ インテグレーテッド フローコントローラ、モデル 6500
注:
- 流量レンジは、ゼロフローまでですが、測定はフルスケールの流量レンジの 10 ~ 100 % になります。
- センサーインターフェイスの選定は、アプリケーションや薬液メディアによって異なります。最善の選定を行うには、インテグリスまでお問い合わせください。
- 一次側シールの材質は Kalrez® (カルレッツ) 6375、二次側シールは Viton® (バイトン) です。
- フレアテック接続仕様の製品には PVDF ナットが 2 つ付属しています。別の材質、またカスタムの構成および仕様については、インテグリスまでお問い合わせください。
差圧式流量計と最先端の制御バルブ技術を組み合わせ、以下のアプリケーションに理想的なクローズドループ流量制御を実現します。
- 重要な薬液供給での連続的な流量制御
- CMP スラリーディスペンス用の既存のぜん動ポンプの置き換え
- 薬液の補充と混合のバッチ制御
- オンデマンドの薬液混合アプリケーション
仕様書
寸法 | |||
入口/出口ポート接続 | A | B | C |
6.35 mm (1/4") Flaretek® (フレアテック) 継手 | 123.4 mm | 244.1 mm | 19.6 mm |
9.53 mm (3/8") フレアテック継手 | 123.4 mm | 247.7 mm | 19.6 mm |
12.7 mm (1/2") フレアテック継手 | 127.0 mm | 251.7 mm | 21.6 mm |
19.05 mm (3/4") フレアテック継手 | 134.9 mm | 257.8 mm | 25.7 mm |
材質 | 接液部: | 本体 | PTFE |
ダイヤフラム | PTFE | ||
センサーインターフェイス | PFA または CTFE | ||
一次側 O-リング | カルレッツ | ||
非接液部: | ポリプロピレン、FEP、PVDF、バイトン (さらに上記の材料) | ||
プロセス温度 | 10 ~ 65 °C | ||
電源 | 24 VDC (± 10 %) @ 1 A | ||
電気出力 | 流量計測用と圧力計測用の電気的に絶縁された 2 つの出力 (4 ~ 20 mA) | ||
流量計測 | 流量レンジの 20 ~ 100 %でフルスケールの ± 1 % 流量レンジの 10 ~ 20 %でフルスケールの ± 2.5 % (23 °C の純水を使用して校正) | ||
繰り返し精度 | 流量範囲の 20 ~ 100 % でフルスケールの ± 0.5 % 流量範囲の 10 ~ 20 % でフルスケールの ± 1 % | ||
圧力計測範囲 | 0 ~ 414 kPa | ||
最低動作圧力 (入口) | 69 kPa | ||
最高動作圧力 | 414 kPa | ||
超過圧力限界 | 690 kPa | ||
圧力計測の正確度 | フルスケールの ± 1 % (直線性、ヒステリシス、および繰り返し精度の複合影響を含む) | ||
電気機器筐体の規格 | IP54 | ||
信頼性 | 接液部、300 万回超 | ||
応答時間 | フルスケールの 10 % から 95 % まで 3 秒未満 | ||
セットポイント入力信号 | 4 ~ 20 mA、0 ~ 10 VDC、0 ~ 5 VDC | ||
認証 | CE (関連資料に適合宣言書を添付) |
注: 仕様は予告なく変更になる場合があります。最新の情報については、インテグリスまでお問い合わせください。
流量レンジ | ||||||||||
接続サイズ | T0 | T1 | T2 | T3 | T4 | T5 | T6 | T7 | T8 | T9 |
0 ~ 50 mL/min | 0 ~ 125 mL/min | 0 ~ 250 mL/min | 0 ~ 500 mL/min | 0 ~ 1250 mL/min | 0 ~ 2.5 L/min | 0 ~ 5 L/min | 0 ~ 10 L/min | 0 ~ 20 L/min | 0 ~ 40 L/min | |
1/4" (F02) | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | - | - | - | - | - |
3/8" (F03) | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | - | - | - |
1/2" (F04) | - | - | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | - |
3/4" (F06) | - | - | - | - | - | - | - | 〇 | 〇 | 〇 |
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