CR8 シリーズ バルブ、空圧式、1/2"オリフィス、二方弁、ノーマリークローズ チューブ
注:
- 構成によっては不可能な場合があります。複数の特注機能が必要な場合は、お問い合わせください。
- フッ素系界面活性剤を含む流体用でスペースセーバー接続を使用される場合は、お問い合わせください。
- 高純度な腐食性薬液のハンドリング
- ウェーハの洗浄・剥離(WEC)プロセス用薬液
- 少量薬液供給アプリケーション
- 薬液ラインサイズ: 6.35 mm (1/4")および12.7 mm (1/2")パイプ、12.7 mm (1/2")および19.05 mm (3/4")チューブ
仕様書
ポート接続 | 流量係数Cv | 流量係数Kv | A | B | C |
6.35 mm (1/4") ピュアボンド * | 1.8 | 25.7 | 120.9 mm * | 17.5 mm | 88.1 mm |
12.7 mm (1/2") フレアテック | 2.4 | 34.3 | 110.5 mm | 17.5 mm | 88.1 mm |
12.7 mm (1/2") プライムロック | 2.4 | 34.3 | 107.2 mm | 17.5 mm | 88.1 mm |
12.7 mm (1/2") ピュアボンド * | 3.2 | 45.7 | 120.9 mm * | 23.9 mm | 94.5 mm |
19.05 mm (3/4") フレアテック | 3.4 | 48.6 | 116.6 mm | 23.9 mm | 94.5 mm |
19.05 mm (3/4") プライムロック | 3.4 | 48.6 | 120.9 mm | 23.9 mm | 94.5 mm |
* チューブパイロットポート構成と標準以下の溶着長さのピュアボンドを備えたCR8バルブについては、回転式パイロットポートP2およびP4を推奨します。
センサー(オプション)の寸法情報 (上記の5番目の図面に記載)
バルブの開/閉位置を電気的にモニタリングするポジションセンサーオプションを選択できます。
注: ポジションセンサーインジケータを使用するにはバルブに取り付ける Omron® (オムロン) センサー (-OM) が必要です。さらに、オムロン ポジションセンサーインジケータ (EE-SX771R または EE-SX771A、別売) も必要となります。
流量調節開または流量調節閉 (上記の6番目の図面に記載)
注: 高さ寸法は開位置のステムを含みます。
- 流量調節開オプションを使用すると、空圧式制御バルブの開行程の可変リミットを手動制御可能
- 流量調節閉オプションを使用すると、空圧式制御バルブの閉行程の可変リミットを手動制御可能
- 両オプションは、バルブノーマリークローズとノーマリーオープンの空圧式アクチュエータで提供
材質: | 接液部 | PFA、PTFE | ||
外部アクチュエータ部品 | PVDF、フッ素ゴム | |||
内部アクチュエータ部品 | PVDF、SST、フッ素ゴム | |||
取り付け用ベース | PVDF | |||
使用条件: | 最高使用圧力 | 21 °C | 入口/出口 | 91.3 kPa (真空) ~ 552 kPa ** |
130 °C | 入口/出口 | 414 kPa** | ||
エア供給圧 | 414 ~ 552 kPa | |||
温度範囲 | 周囲温度 | 21 °C ~ 50 °C | ||
流体温度 | 21 °C ~ 130 °C ** | |||
エア供給ポート: | 6.35 mm (1/4") チューブ出し | |||
環境に関する適合規格: | RoHs、WEEE |
** 実際のバルブ性能は圧力と温度によって異なります。性能データの実際の数値を参照してください。
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