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Protego® AT 2 nm ピューリファイヤー

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Protego® (プロテゴ) AT は、オールインワンデバイスのピューリファイヤー/フィルターで、溶解性が高い溶剤において優れた粒子除去性能と金属除去性能で極めてクリーンな精製を提供します。

溶解性の高い薬液アプリケーションに最適な除粒子径 2 nm の PTFE 膜
最大の金属除去性能を備えた専用の金属除去層により、メタル除去性能を長期間保持
オールインワンデバイスで、粒子と金属の両方に対して優れた除去性能を発揮し、フットプリントの削減が可能
オールフッ素樹脂製で、極めてクリーンな精製が可能
最適化された UCM5P 洗浄技術により、設置後素早く立ち上げが可能
幅広い製品ラインアップで、小型/大型のディスポーザブル、カートリッジをご用意

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アプリケーション Protego® AT 2 nm ピューリファイヤーアプリケーション

高いメタル除去性能や極めて高い清浄度を必要とする溶解性の高い溶剤 (IPA など)
7 nm 以下のデバイスノードの製造工場、洗浄装置、薬液供給システム
最先端のマイクロエレクトロニクス市場向けの薬液製造

仕様書

寸法図

プロテゴ AT Chem-Line™ (ケムライン) II タイプディスポーザブルフィルター
寸法 (概寸)
接続サイズ		スーパー 300 タイプピラー		フレアテック
入口/出口	ベント/ドレン	A	B	A	B
1/2" (12.7 mm)	1/4" (6.35 mm)	341 mm	37 mm	—	—
3/4" (19.05 mm)	1/4" (6.35 mm)	350 mm	37 mm	359 mm	37 mm
3/4" (19.05 mm)	1/2" (12.7 mm)	349 mm	41 mm	363 mm	41 mm
1" (25.4 mm)	1/4" (6.35 mm)	383 mm	37 mm	368 mm	37 mm
1" (25.4 mm)	1/2" (12.7 mm)	380 mm	41 mm	—	—

プロテゴ AT P1500 タイプディスポーザブルフィルター
寸法 (概寸)
接続サイズ		スーパータイプピラー		スーパー 300 タイプピラー		フレアテック
入口/出口	ベント/ドレン	A	B	A	B	A	B
3/8" (9.53 mm)	1/4" (6.35 mm)	—	—	141 mm	31 mm	165 mm	32 mm
1/2" (12.7 mm)	1/4" (6.35 mm)	—	—	146 mm	31 mm	—	—
8 mm	6 mm	140 mm	32 mm	135 mm	31 mm	—	—

プロテゴ AT P3000 タイプディスポーザブルフィルター
寸法 (概寸)
接続サイズ		スーパータイプピラー		スーパー 300 タイプピラー		フレアテック
入口/出口	ベント/ドレン	A	B	A	B	A	B
3/8" (9.53 mm)	1/4" (6.35 mm)	—	—	194 mm	31 mm	200 mm	32 mm
1/2" (12.7 mm)	1/4" (6.35 mm)	—	—	199 mm	31 mm	—	—
8 mm	6 mm	194 mm	32 mm	1895 mm	31 mm	—	—

プロテゴ AT カートリッジフィルター
長さ	A	B	C
10 インチタイプ	244 mm	227 mm	225 mm
20 インチタイプ	471 mm	454 mm	452 mm

性能データ

製品の仕様

プロテゴ AT ディスポーザブルフィルター
		ATE ケムライン II タイプ	P3000 タイプ	P1500 タイプ
材質	メンブレン	PTFE
材質	サポート、ハウジング	PFA
精製対象		金属イオン
除粒子径		2 nm
接続		入口/出口 1/2" (12.7 mm) ベント/ドレン 1/4" (6.35 mm) スーパー 300 タイプピラー	入口/出口 1/2" (12.7 mm) ベント/ドレン 1/4" (6.35 mm) スーパー 300 タイプピラー	入口/出口 3/8" (9.53 mm) ベント/ドレン 1/4" (6.35 mm) スーパー 300 タイプピラー
		入口/出口 3/4" (19.05 mm) ベント/ドレン 1/4" (6.35 mm) スーパー 300 タイプピラー	入口/出口 3/8" (9.53 mm) ベント/ドレン 1/4" (6.35 mm) スーパー 300 タイプピラー	入口/出口 8 mm ベント/ドレン 6 mm スーパー 300 タイプピラー
		入口/出口 3/4" (19.05 mm) ベント/ドレン 1/2" (12.7 mm) スーパー 300 タイプピラー	入口/出口 8 mm ベント/ドレン 6 mm スーパー 300 タイプピラー	入口/出口 8 mm ベント/ドレン 6 mm スーパータイプピラー
		入口/出口 1" (24.5 mm) ベント/ドレン 1/4" (6.35 mm) スーパー 300 タイプピラー	入口/出口 8 mm ベント/ドレン 6 mm スーパータイプピラー	入口/出口 3/8" (9.53 mm) ベント/ドレン 1/4" (6.35 mm) フレアテック
		入口/出口 1" (24.5 mm) ベント/ドレン 1/2" (12.7 mm) スーパー 300 タイプピラー	入口/出口 3/8" (9.53 mm) ベント/ドレン 1/4" (6.35 mm) フレアテック	—
		入口/出口 3/4" (19.05 mm) ベント/ドレン 1/4" (6.35 mm) フレアテック	—	—
		入口/出口 3/4" (19.05 mm) ベント/ドレン 1/2" (12.7 mm) フレアテック	—	—
		入口/出口 1" (24.5 mm) ベント/ドレン 1/4" (6.35 mm) フレアテック	—	—
膜面積		1.77 m²	0.49 m²	0.20 m²
使用条件	最高使用温度	80 °C
使用条件	最高使用圧力	0.58 MPa @ 25 °C
	最高許容正差圧大	0.44 MPa @ 25 °C	0.39 MPa @ 25 °C	0.39 MPa @ 25 °C
	最大許容逆差圧	0.29 MPa @ 25 °C
金属抽出物	UCM5P クリーン	29 種類の金属について試験
その他の抽出物	UCM5P クリーン	NVR (不揮発性残渣)

プロテゴ AT カートリッジフィルター
		10 インチタイプ	20 インチタイプ
材質	メンブレン	PTFE
	コア、サポート、スリーブ	PFA
精製対象		金属イオン
除粒子径		2 nm
膜面積		1.77 m²	3.54 m²
使用条件	最高使用温度	80 °C
	最大許容正差圧	0.44 MPa @ 25 °C
	最大許容逆差圧	0.34 MPa @ 25 °C
金属抽出物	UCM5P クリーン	29 種類の金属について試験
その他の抽出物	UCM5P クリーン	NVR (不揮発性残渣)

ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました

Protego® AT 2 nm ピューリファイヤー

仕様書

プロテゴ AT Chem-Line™ (ケムライン) II タイプ ディスポーザブルフィルター

プロテゴ AT P1500 タイプ ディスポーザブルフィルター

プロテゴ AT P3000 タイプ ディスポーザブルフィルター

プロテゴ AT カートリッジフィルター

プロテゴ AT ディスポーザブルフィルター

ATE ケムライン II タイプ

P3000 タイプ

P1500 タイプ

プロテゴ AT カートリッジフィルター

10 インチタイプ

20 インチタイプ

プロテゴ AT Chem-Line™ (ケムライン) II タイプディスポーザブルフィルター

プロテゴ AT P1500 タイプディスポーザブルフィルター

プロテゴ AT P3000 タイプディスポーザブルフィルター