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Protego® Plus IPA (プロテゴ プラス IPA) ピューリファイヤーは、清浄度が極めて重要な乾燥工程で用いられるIPAから金属や粒子を確実に除去する高効率なピューリファイヤーです。
ブランド名
  • Protego®
薬液
  • 溶剤
微細加工の寸法(レイヤー)
  • < 10 nm
  • 14 - 22 nm
  • 28 - 90 nm
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
Protego® Plus HT (プロテゴ プラス HT)ピューリファイヤーは、清浄度が極めて重要なアプリケーションで使用される、常温~高温(最高80°C)の純水用のオールインワン ピューリファイヤー/フィルターです。
ブランド名
  • Protego®
薬液
  • 純水
微細加工の寸法(レイヤー)
  • < 10 nm
  • 14 - 22 nm
  • 28 - 90 nm
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
Protego® Plus LT (プロテゴ プラス LT) ピューリファイヤー清浄度が極めて重要なアプリケーションで使用される、常温~中温(最高60°C)の純水用のオールインワン ピューリファイヤー/フィルターです。
ブランド名
  • Protego®
薬液
  • 純水
微細加工の寸法(レイヤー)
  • < 10 nm
  • 14 - 22 nm
  • 28 - 90 nm
  • > 90 nm
設置ポイント
  • 装置内
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