Fluorogard® FP/FP-HP カートリッジ フィルター
- 産業: 半導体、データストレージ、フラットパネルディスプレイ、薬液供給、LED
- プロセス: ウェーハの洗浄・剥離、薬液供給、基板洗浄、磁気ヘッド - ウェーハの洗浄・剥離、CDA、有機層プリンティング、バルクガス供給
- 薬液: 溶剤、酸性水溶液、塩基、洗剤、純水
- 設置ポイント: 装置内、バルク、施設
仕様書
材質: | メンブレン: PTFE (疎水性) |
サポート、コア、スリーブ、エンドキャップ: ポリプロピレン | |
O-リング: EPDM、フッ素ゴム(FKM)、被覆フッ素ゴム(E-FKM) | |
接続: | コード0 (AS568-222 O-リング) |
コード7 (AS568-226 O-リング) | |
コードF (EP、FKMガスケット) | |
孔径: | 0.02、0.05、0.10、0.20、0.50、1.0、3.0、10.0 µm |
膜面積: | 10": 7,000 cm² |
20": 14,000 cm² | |
30": 21,000 cm² | |
使用条件: | 最大許容正差圧/逆差圧: 0.34 Mpa @ 25°C |
最高使用温度: 90°C |
材質: | メンブレン: PTFE (親水性) |
孔径0.02 µm品 - 親水化処理済み(親水化処理不要) PTFE* | |
サポート、コア、スリーブ、エンドキャップ: ポリプロピレン | |
O-リング: EPDM、フッ素ゴム(FKM)、被覆フッ素ゴム(E-FKM) | |
接続: | コード0 (AS568-222 O-リング) |
孔径: | 0.02、0.05、0.10、0.20、0.50、1.0、3.0、10.0 µm |
膜面積: | 10": 7,000 cm² |
20": 14,000 cm² | |
30": 21,000 cm² | |
使用条件: | 最大許容正差圧/逆差圧: 0.34 Mpa @ 25°C |
最高使用温度: 90°C | |
* 親水化処理済みフィルターは、1%のH₂O₂を含む純水が封入された袋で密封されています。取り付け後、20リットルの純水(10''当たり)でフラッシングをしてください。 |
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