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Guardian™ PSフィルター

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常温で希釈酸、アルカリをろ過する最高水準のウルトラクリーンのフィルターです。ほとんどの先進テクノロジーノードにおいて、高い流量と汚染物質除去性能を実現します。

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除粒子性能

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ケムロックキー

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アプリケーション Guardian™ PSフィルターアプリケーション

産業: 半導体、フラットパネルディスプレイ、データストレージ
プロセス: ウェーハの洗浄・剥離
薬液: 希釈酸、希釈アルカリ
設置ポイント: 装置内

仕様書

寸法図

性能データ

製品の仕様

材質:	メンブレン	親水化処理済みポリスルフォン(PS)
	サポート、スリーブ、コア、エンドキャップ:	高密度ポリエチレン(HDPE)
	Chem-Line™ IIディスポーザブルフィルター(外部シェル)	ポリプロピレン(PP)、PFA
除粒子孔径	1 nm、5 nm
膜面積	10": 1.7 m²
使用条件	最大許容正差圧: 0.34 MPa @ 25°C
	最大許容逆差圧: 0.21 MPa @ 25°C
	最高使用温度: 70°C @ 0.16MPa

注: フィルターは親水化処理済みで、0.9%のH202が封入された袋で出荷されます。

ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました

関連資料製品資料

公開 May 28, 2019 Spec Sheet Guardian™ PS UC Liquid Filters

635.1 kB

型番

Guardian™ PSフィルター型番

型番	除粒子性能	長さ	構成	シェルのタイプ	接続	ケムロックキー	O-リング
GS2EM1FM01FT	1 nm	10 インチタイプ	In-line	PP	入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®互換継手	なし	N/A
GS2EM1FM31FT	1 nm	10 インチタイプ	In-line	PP	入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®互換継手	なし	N/A
GS2FM1EM01FT	5 nm	10 インチタイプ	In-line	PP	入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®互換継手	なし	N/A
GS2FM1EM21FT	5 nm	10 インチタイプ	In-line	PP	入口/出口12.7 mm (1/2")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®互換継手	なし	N/A
GS2FM1EM31FT	5 nm	10 インチタイプ	In-line	PP	入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®互換継手	なし	N/A
GS2FM1EM41FT	5 nm	10 インチタイプ	In-line	PP	入口/出口25.4 mm (1")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®互換継手	なし	N/A
GSCEM1F000T	1 nm	10 インチタイプ	In-line	N/A	コード0	なし	E-FKM
GSCEM1F00KT	1 nm	10 インチタイプ	In-line	N/A	コード0	あり	E-FKM
GSCEM1F0RKT	1 nm	10 インチタイプ	In-line	N/A	コード0	あり	W240UP
GSCEM2F00KT	1 nm	20 インチタイプ	In-line	N/A	コード0	あり	E-FKM
GSCEM2F0RKT	1 nm	20 インチタイプ	In-line	N/A	コード0	あり	W240UP
GSCFM1E000T	5 nm	10 インチタイプ	In-line	N/A	コード0	なし	E-FKM
GSCFM1E00KT	5 nm	10 インチタイプ	In-line	N/A	コード0	あり	E-FKM
GSCFM1E0RKT	5 nm	10 インチタイプ	In-line	N/A	コード0	あり	W240UP
GSCFM2E00KT	5 nm	20 インチタイプ	In-line	N/A	コード0	あり	E-FKM
GSCFM2E0RKT	5 nm	20 インチタイプ	In-line	N/A	コード0	あり	W240UP
GSDEM1F902ST	1 nm	10 インチタイプ	T-line	PFA	入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン12.7 mm (1/2")、スーパー300タイプPillar®継手	なし	N/A
GSDEM1F942ST	1 nm	10 インチタイプ	T-line	PFA	入口/出口25.4 mm (1")、ベント/ドレン12.7 mm (1/2")、スーパー300タイプPillar®継手	なし	N/A
GSDEM1FT02HT	1 nm	10 インチタイプ	T-line	PFA	入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン12.7 mm (1/2")、スーパータイプPillar®継手	なし	N/A
GSDFM1E902ST	5 nm	10 インチタイプ	T-line	PFA	入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン12.7 mm (1/2")、スーパー300タイプPillar®継手	なし	N/A
GSDFM1E942ST	5 nm	10 インチタイプ	T-line	PFA	入口/出口25.4 mm (1")、ベント/ドレン12.7 mm (1/2")、スーパー300タイプPillar®継手	なし	N/A
GSDFM1ET02HT	5 nm	10 インチタイプ	T-line	PFA	入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン12.7 mm (1/2")、スーパータイプPillar®継手	なし	N/A
GSLEM1F102FT	1 nm	10 インチタイプ	In-line	PFA	入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®互換継手	なし	N/A
GSLEM1FM01ST	1 nm	10 インチタイプ	In-line	PFA	入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパー300タイプPillar®継手	なし	N/A
GSLFM1E102FT	5 nm	10 インチタイプ	In-line	PFA	入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®互換継手	なし	N/A
GSLFM1EM01ST	5 nm	10 インチタイプ	In-line	PFA	入口/出口19.05 mm (3/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパー300タイプPillar®継手	なし	N/A
GSLFM1EM41FT	5 nm	10 インチタイプ	In-line	PFA	入口/出口25.4 mm (1")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®互換継手	なし	N/A
GSLFM1EM41ST	5 nm	10 インチタイプ	In-line	PFA	入口/出口25.4 mm (1")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパー300タイプPillar®継手	なし	N/A