Optimizer® HV フィルター
- 半導体のフォトリソグラフィープロセス
- 装置内、高粘度なフォトケミカル
仕様書
材質 | フィルター | 超高分子量ポリエチレン (UPE) |
コア、スリーブ、エンドキャップ | ポリエチレン | |
O-リング (AS568-015) | カルレッツ 6375UP | |
適合ハウジング | AS568-015 O-リング対応の 40 段用ハウジング | |
膜面積 | 3400 cm2 | |
寸法 | 胴径 | 66.3 mm |
全長 | 113 mm | |
使用条件 | 最大許容正差圧 | 0.34 MPa @ 25 °C |
最大許容逆差圧 | 0.27 MPa @ 25 °C | |
最高使用温度 | 60 °C | |
インテグリスは、最適なろ過性能を確保するために、少なくとも 1 年に 1 回はフィルターを交換することをお勧めします。 定期的な交換は、過度の使用から生じる化学物質の漏れの可能性を減らします。 インテグリスの標準保証期間は出荷日から1年です。 |
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