Panelgard™ PDP 1-2-3/1-2-3 フィルター
- フラットパネルディスプレイ
- カラーレジスト、フォトリソグラフィ
- フォトケミカル、溶剤
- 装置
仕様書
側面図の各フィルターのL1およびL2の寸法は以下の通りです。
L1: ショートタイプ 108 mm、ロングタイプ 162 mm
L2: ショートタイプ 87 mm、ロングタイプ 137 mm
パネルガード 1-2-3 フィルター | パネルガード 1-2-3 PDP フィルター | ||
材質: | フィルター | 超高分子量 ポリエチレン(UPE) | ポリプロピレン |
サポート、コア、スリーブ、 エンドキャップ | 高密度ポリエチレン(HDPE) | ポリプロピレン | |
O-リング | パーフロ | パーフロ または EPDM | |
ハウジング | ポリプロピレン | ポリプロピレン | |
膜面積: | ショートタイプ | 1600 cm2 | 1.2 µm、2.5 µm 1300 cm2 |
5.0 µm 1700 cm2 | |||
ロングタイプ | 3000 cm2 | 1.2 µm、2.5 µm 2300 cm2 | |
5.0 µm 3000 cm2 | |||
接続: | このフィルターのご使用には専用のマニホールド(オプチマイザー ST2 フィルターマニホールド)が必要となります。 |
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型番 | メンブレン/メディア | 長さ | 除粒子性能 | O-リング |
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AD0G0LEM1 | PTFE | ロングカプセル | 0.2 µm | EPDM |
ADEG0SPM1 | PTFE | ショートカプセル | 0.2 µm | パーフルオロエラストマー |
ADES0LPM1 | PTFE | ロングカプセル | 0.2 µm | パーフルオロエラストマー |
AFSG0LPM1 | UPE | ロングカプセル | 0.2 µm | パーフルオロエラストマー |
AFUG0LPBT | UPE | ロングカプセル | 0.2 µm | パーフルオロエラストマー |
AFUG0LPM1 | UPE | ロングカプセル | 0.2 µm | パーフルオロエラストマー |
AFUG0SPBT | UPE | ショートカプセル | 0.2 µm | パーフルオロエラストマー |
AFUG0SPM1 | UPE | ショートカプセル | 0.2 µm | パーフルオロエラストマー |
AFUV0LPBT | UPE | ロングカプセル | 0.1 µm | パーフルオロエラストマー |
AFUV0LPM1 | UPE | ロングカプセル | 0.1 µm | パーフルオロエラストマー |
AFUV0SPBT | UPE | ショートカプセル | 0.1 µm | パーフルオロエラストマー |
AFUV0SPM1 | UPE | ショートカプセル | 0.1 µm | パーフルオロエラストマー |
AFUZ0LPBT | UPE | ロングカプセル | 0.05 µm | パーフルオロエラストマー |
AFUZ0LPM1 | UPE | ロングカプセル | 0.05 µm | パーフルオロエラストマー |
AFUZ0SPBT | UPE | ショートカプセル | 0.05 µm | パーフルオロエラストマー |
AFUZ0SPM1 | UPE | ショートカプセル | 0.05 µm | パーフルオロエラストマー |
APD06LEM1 | PP | ロングカプセル | 0.6 µm | EPDM |
APD06LPM1 | PP | ロングカプセル | 0.6 µm | パーフルオロエラストマー |
APD06SEM1 | PP | ショートカプセル | 0.6 µm | EPDM |
APD06SPM1 | PP | ショートカプセル | 1.2 µm | パーフルオロエラストマー |
APD12LEM1 | PP | ロングカプセル | 1.2 µm | EPDM |
APD12LPM1 | PP | ロングカプセル | 1.2 µm | パーフルオロエラストマー |
APD12SEM1 | PP | ショートカプセル | 1.2 µm | EPDM |
APD12SPM1 | PP | ショートカプセル | 1.2 µm | パーフルオロエラストマー |
APD25LEM1 | PP | ロングカプセル | 2.5 µm | EPDM |
APD25LPM1 | PP | ロングカプセル | 2.5 µm | パーフルオロエラストマー |
APD25SEM1 | PP | ショートカプセル | 2.5 µm | EPDM |
APD25SPM1 | PP | ショートカプセル | 2.5 µm | パーフルオロエラストマー |
APD50LEM1 | PP | ロングカプセル | 5 µm | EPDM |
APD50LPM1 | PP | ロングカプセル | 5 µm | パーフルオロエラストマー |
APD50SEM1 | PP | ショートカプセル | 5 µm | EPDM |
APD50SPM1 | PP | ショートカプセル | 5 µm | パーフルオロエラストマー |