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Caerus™100(カエラス100)シリーズは、低温でも優れたフィルム品質で成膜できるアルミニウムベースの酸化物コーティングです。
産業
  • 半導体
  • ソーラー/PV
プロセス
  • イオン注入
  • 成膜
  • ドライエッチング
コーティング厚
  • 10 - 1000 nmの間
耐腐食性
  • フッ素環境
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