Caerus™100 シリーズ コーティング
- 半導体チャンバーコンポーネント
- 光学コーティング
- 高アスペクト比形状と複雑な三次元表面を持つコンポーネント
仕様書
| 基材: | 対応材料: 金属、セラミック(アルミナ、AINなど)、半導体 |
| サイズ: 最大1016 mm D x 508 mm H | |
| 構造: | 微結晶質 |
| 温度: | 成膜温度: 200°C |
| 使用温度: 1000°C | |
| コーティング厚: | 最大10 μm |
| 電気抵抗率: | > 10-12 Ω-cm |
| 純度: | > 99% |
| 硬度: | 1100 HV |
| 弾性率: | 190 GPa |
| ラフネス: | コンフォーマル - 基材の影響を受ける |
| 耐腐食性: | フッ素環境で優れたエッチング耐性 |
| 空気中で最大1000°Cの酸化に耐性 | |
| ほとんどの酸とアルカリに耐性 |
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