SUPERSiC®-H
- プラズマエッチング
- RTP用途
仕様書
| みかけ密度: | 3.13 g/cm3 |
| かさ密度: | 2.53 g/cm3 |
| 全気孔率: | 20% |
| 開放気孔率: | 19% |
| 総不純物濃度: | < 10 ppm |
| 曲げ強度: | 155 MPa |
| 引張強度: | 129 MPa |
| 弾性係数: | 217 GPa |
| 比剛性: | 86 kN.m/g |
| ポアソン比: | 0.17 |
| 動剛性率: | 97 GPa |
| 破壊靭性: | 2.44 MPa.m0.5 |
| 硬度: | 1992 kg/mm2 |
| 熱拡散率: | 100 mm2/s |
| 熱伝導率: | 170 W/m-K |
| 電気抵抗率: | 0.009 Ω-cm |
| 常温における瞬間CTE: | 2.4 10-6 /K |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
| 型番 | 材料のタイプ |
|---|---|
| DE-31845 | サンプル |