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2015/06/01

SUPERSiC® Silicon Carbide Materials
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  • バルク密度、g/cm3
  • 曲げ強度、MPa
  • 熱伝導率、W/m-K
  • 業種
  • プロセス
SUPERSiCは、コンバージョン法によるベースグレードのシリコンカーバイドです。この材料は、高温および大気プロセスと過酷なプロセス環境に理想的です。
見かけ密度、g/cm3
  • 3.13 (0.113)
かさ密度、g/cm3
  • 2.53 (0.092)
曲げ強度、MPa
  • 155 (22,400)
熱伝導率、W/m-K
  • 117 (98)
SUPERSiCは、表面を75 µmの化学気相成長(CVD) SiCでコーティングしています。
見かけ密度、g/cm3
  • 3.15 (0.114)
かさ密度、g/cm3
  • 2.55 (0.092)
曲げ強度、MPa
  • 155 (22,400)
熱伝導率、W/m-K
  • 117 (98)
SUPERSiC®-3CXは、SUPERSiCの表面をさらに75 µmのCVD SiCで2回コーティングしています。
見かけ密度、g/cm3
  • 3.15 (0.114)
かさ密度、g/cm3
  • 2.55 (0.092)
曲げ強度、MPa
  • 155 (22,400)
熱伝導率、W/m-K
  • 117 (98)
SUPERSiC-Hは、非金属性不純物を低減するための追加処理を施した、コンバージョン法によるベースグレードのシリコンカーバイドです。この材料は、高温および大気プロセスと過酷なプロセス環境に理想的です。
見かけ密度、g/cm3
  • 3.15 (0.114)
かさ密度、g/cm3
  • 2.53 (0.092)
曲げ強度、MPa
  • 155 (22,400)
熱伝導率、W/m-K
  • 117 (98)
SUPERSiCはシリコンを含浸させており、200 µmのCVDシリコンカーバイドでコーティングしています。
見かけ密度、g/cm3
  • 3.13 (0.113)
かさ密度、g/cm3
  • 2.95 (0.107)
曲げ強度、MPa
  • 122 (27,900)
熱伝導率、W/m-K
  • 220 (127)
SUPERSiC®は、表面を75 µmの化学気相成長(CVD) SiCでコーティングしています。
見かけ密度、g/cm3
  • 3.13 (0.113)
かさ密度、g/cm3
  • 2.95 (0.107)
曲げ強度、MPa
  • 122 (27,900)
熱伝導率、W/m-K
  • 220 (127)
SUPERSiC®は、ベース基板の空隙にSiCを追加する緻密化プロセスによって形成します。
見かけ密度、g/cm3
  • 3.13 (0.113)
かさ密度、g/cm3
  • 3.00 (0.109)
曲げ強度、MPa
  • 220 (31,900)
熱伝導率、W/m-K
  • 224 (129)
高純度シリコンを含浸させたSUPERSiCです。
見かけ密度、g/cm3
  • 3.13 (0.113)
かさ密度、g/cm3
  • 2.93 (0.106)
曲げ強度、MPa
  • 122 (27,900)
熱伝導率、W/m-K
  • 220 (127)
グラファイトの外層はSiCに部分的に変換されています。グラファイトを750 µmのSUPERSiC®含浸層でコーティングしています。
見かけ密度、g/cm3
  • 3.13 (0.113)
かさ密度、g/cm3
  • 2.18 (0.079)
曲げ強度、MPa
  • 69 (10,000)
熱伝導率、W/m-K
  • 88 (51)
グラファイトの外層はSiCに部分的に変換されています。グラファイトを225 µmのSUPERSiC含浸層でコーティングしています。
見かけ密度、g/cm3
  • 3.13 (0.113)
かさ密度、g/cm3
  • 2.07 (0.075)
曲げ強度、MPa
  • 96 (14,000)
熱伝導率、W/m-K
  • 130 (75)
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