SUPERSiC®-SP
- 成膜
- 光学プロセスおよびアプリケーション
仕様書
| みかけ密度、g/cm3 | 3.04 | |
| かさ密度、g/cm3 | 3.00 | |
| 全気孔率、Pt | 5% | |
| 開放気孔率、Pop | 1% | |
| 総不純物濃度 | < 10 ppm | |
| 曲げ強度、MPa | 220 | |
| 引張強度、MPa | 162 | |
| 弾性係数、GPa | 373 | |
| 比剛性、kN.m/g | 124 | |
| ポアソン比 | 0.17 | |
| 動剛性係数、GPa | 159 | |
| 破壊じん性、MPa.m0.5 | N/A | |
| 硬度、kg/mm2 | N/A | |
| 熱拡散率、mm2/s | 111 | |
| 熱伝導率、W/m-K | 224 | |
| 瞬間CTE、10-6 /K | 2.4 | |
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