SUPERSiC®-Si-8C
- 大型の光学コンポーネント
- リソグラフィコンポーネント
仕様書
| みかけ密度: | 3.03 g/cm3 |
| かさ密度: | 2.95 g/cm3 |
| 全気孔率: | 4% (空隙は高密度コーティングで密閉されており、プロセスにさらされません) |
| 開放気孔率: | 0% (空隙はCVD SiCコーティングで密閉されています) |
| 総不純物濃度: | < 10 ppm |
| 曲げ強度: | 192 MPa |
| 引張強度: | 124 MPa |
| 弾性係数: | 331 GPa |
| 比剛性: | 112 kN.m/g |
| ポアソン比: | 0.17 |
| 動剛性率: | 138 GPa |
| 破壊靭性: | 3.8 MPa.m0.5 |
| 熱拡散率: | 115 mm2/s |
| 常温における瞬間CTE: | 2.4 10-6 /K |
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