FlowPlane™ リニア フィルトレーション テクノロジー
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- 半導体製造
- 洗浄・剥離
- 反応性の高い酸・アルカリ、溶剤
- 装置用
仕様書
材質: | フィルター | non-dewetting PTFE |
コア、サポート、ハウジング | PFA | |
除粒子径: | 7 nm | |
膜面積: | 0.6 m2 | |
使用条件: | 最高使用圧力 | 0.59 MPa @ 25 °C |
0.19 MPa @ 150 ºC | ||
最大許容正差圧 | 0.39 MPa @ 25 °C | |
最大許容逆差圧 | 0.29 MPa @ 25 °C | |
最高使用温度 | 150 °C | |
金属抽出物: | UCM-10 | 23種類の金属について試験済み |
その他の抽出物: | UCM-10 | TOC、CI、NVR、F |
フロープレーン製品の構成はすべてPFOAフリーです。 |
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