Optimizer® DEVフィルター
- 産業: 半導体、データストレージ
- プロセス: フォトリソグラフィ、磁気ヘッド - フォトリソグラフィ
- 薬液: 純水、溶剤、フォトケミカル
- 設置ポイント: 装置内
仕様書
寸法 | |||||||
接続 | 入口/出口の 接続サイズ | A | B | C | D | E | F |
コンプレッションシール | 6.35 mm (1/4") | 189 mm | 169 mm | 69 mm | 113 mm | 92 mm | 69 mm |
9.53 mm (3/8") | 192 mm | 169 mm | 69 mm | — | — | — | |
スーパータイプピラー | 6 mm | — | — | — | 122 mm | 97 mm | 71 mm |
6.35 mm (1/4") | — | — | — | 122 mm | 97 mm | 71 mm | |
8 mm | 205 mm | 175 mm | 71 mm | 127 mm | 97 mm | 71 mm | |
9.53 mm (3/8") | 209 mm | 175 mm | 71 mm | — | — | — | |
12.7 mm (1/2") | 185 mm | 145 mm | 82 mm | — | — | — |
材質 | フィルター | 親水性 超高分子量ポリエチレン (親水性 UPE) |
サポート、コア、スリーブ | HDPE | |
ハウジング | PP | |
膜面積 | DEV | 1800 cm² |
DEV-L | 3600 cm² | |
DEV (30 nm) | 2600 cm² | |
DEV-L (30 nm) | 4500 cm² | |
除粒子径 | DEV、DEV-L | 20、30 nm、0.1、 0.05 µm |
継手 | スーパータイプピラー または コンプレッションシール | |
使用条件 | 最高使用圧力 | 0.345 MPa @ 25 °C |
最大許容正差圧/逆差圧 | 0.345 MPa @ 25 °C | |
使用温度 | 60 °C | |
インテグリスは、最適なろ過性能を確保するために、少なくとも1年に1回はフィルターを交換することをお勧めします。 定期的な交換は、過度の使用から生じる化学物質の漏れの可能性を減らします。 インテグリスの標準保証期間は出荷日から1年です。 |
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型番 | リソグラフィ技術 | 長さ | 除粒子性能 | 接続 |
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CHUT0S0P1 | 液浸 | ショートカプセル | 10 nm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CHUT3L0P1 | 液浸 | ロングカプセル | 10 nm | 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CHUV0L0P1 | KrF | ロングカプセル | 0.1 µm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CHUV0L0S1 | KrF | ロングカプセル | 0.1 µm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手 |
CHUV0S0F1 | KrF | ショートカプセル | 0.1 µm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®継手 |
CHUV0S0P1 | KrF | ショートカプセル | 0.1 µm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CHUV0S0S1 | KrF | ショートカプセル | 0.1 µm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手 |
CHUV2L0P1 | KrF | ロングカプセル | 0.1 µm | 入口/出口12.7 mm (1/2")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CHUV3L0F1 | KrF | ロングカプセル | 0.1 µm | 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®継手 |
CHUV3L0P1 | KrF | ロングカプセル | 0.1 µm | 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CHUV3L0S1 | KrF | ロングカプセル | 0.1 µm | 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手 |
CHUV3S0S1 | KrF | ショートカプセル | 0.1 µm | 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手 |
CHUV6S0P1 | KrF | ショートカプセル | 0.1 µm | 入口/出口6 mm、ベント/ドレン4 mm、スーパータイプPillar®継手 |
CHUV8S0P1 | KrF | ショートカプセル | 0.1 µm | 入口/出口8 mm、ベント/ドレン4 mm、スーパータイプPillar®継手 |
CHUX0L0P1M | ArF | ロングカプセル | 20 nm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CHUX0L0S1M | ArF | ロングカプセル | 20 nm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手 |
CHUX0S0P1M | ArF | ショートカプセル | 20 nm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CHUX0S0S1M | ArF | ショートカプセル | 20 nm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手 |
CHUX3L0P1M | ArF | ロングカプセル | 20 nm | 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CHUX6S0P1M | ArF | ショートカプセル | 20 nm | 入口/出口6 mm、ベント/ドレン4 mm、スーパータイプPillar®継手 |
CHUY0L0F1M | ArF | ロングカプセル | 30 nm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®継手 |
CHUY0S0P1M | ArF | ショートカプセル | 30 nm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CHUY3L0F1M | ArF | ロングカプセル | 30 nm | 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、Flaretek®継手 |
CHUY3L0P1M | ArF | ロングカプセル | 30 nm | 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CHUY6S0P1M | ArF | ショートカプセル | 30 nm | 入口/出口6 mm、ベント/ドレン4 mm、スーパータイプPillar®継手 |
CHUY8L0P1M | ArF | ロングカプセル | 30 nm | 入口/出口8 mm、ベント/ドレン4 mm、スーパータイプPillar®継手 |
CHUY8S0P1M | ArF | ショートカプセル | 30 nm | 入口/出口8 mm、ベント/ドレン4 mm、スーパータイプPillar®継手 |
CHUZ0L0P1 | KrF | ロングカプセル | 0.05 µm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CHUZ0L0S1 | KrF | ロングカプセル | 0.05 µm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手 |
CHUZ0S0P1 | KrF | ショートカプセル | 0.05 µm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CHUZ0S0S1 | KrF | ショートカプセル | 0.05 µm | 入口/出口6.35 mm (1/4")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手 |
CHUZ0S0X1 | KrF | ショートカプセル | 0.05 µm | 1/4" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, Flowell™ 60 fittings |
CHUZ2L0P1 | KrF | ロングカプセル | 0.05 µm | 入口/出口12.7 mm (1/2")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CHUZ3L0P1 | KrF | ロングカプセル | 0.05 µm | 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、スーパータイプPillar®継手 |
CHUZ3L0S1 | KrF | ロングカプセル | 0.05 µm | 入口/出口9.52 mm (3/8")、ベント/ドレン6.35 mm (1/4")、コンプレッション継手 |
CHUZ3L0X1 | KrF | ロングカプセル | 0.05 µm | 3/8" inlet/outlet, 1/4" vent/drain, Flowell™ 60 fittings |
CHUZ6S0P1 | KrF | ショートカプセル | 0.05 µm | 入口/出口6 mm、ベント/ドレン4 mm、スーパータイプPillar®継手 |
CHUZ8L0P1 | KrF | ロングカプセル | 0.05 µm | 入口/出口8 mm、ベント/ドレン4 mm、スーパータイプPillar®継手 |
CHUZ8S0P1 | KrF | ショートカプセル | 0.05 µm | 入口/出口8 mm、ベント/ドレン4 mm、スーパータイプPillar®継手 |