Pumpgard™ II フィルター
- 半導体、フラットパネル ディスプレイ、データストレージ
- 装置内、洗浄・剥離プロセス
仕様書
材質 | フィルター部 | PFA ネット |
ハウジング | PFA 440 HP | |
除粒子径 | 60 μm | |
膜面積 | 23 cm2 | |
入口 / 出口接続 | 19.05 mm (3/4”) チューブ出し | |
19.05 mm (3/4”) Flaretek® (フレアテック) | ||
25.4 mm (1”) フレアテック | ||
使用条件 | 最高使用入口側圧力 | 0.345 MPa at 25 °C |
最大許容正/逆差圧 | 0.345 MPa at 25 °C | |
最高使用温度 | 19.05 mm (3/4”) 接続:180 °C at 0.097 MPa | |
25.4 mm (1”) 接続:180 °C at 0.069 MPa |
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型番 | 長さ | 接続 |
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WDPM0CP0F | 5 インチタイプ | 3/4” (19.05 mm) フレアテック |
WDPM0CP4F | 5 インチタイプ | 1” (25.4 mm) フレアテック |
WDPM0CPSF | 7" | 19.05 mm (3/4")チューブ継手 |
WDPM0CPST3 | 7" | 3/4" Super 300 type Pillar® fitting |
WDPM0CPSTP | 7" | 3/4" Super type Pillar® fitting |