Solaris® CL フィルター
- 半導体製造
- CMPプロセス
- スラリー
- 装置内の使用点
仕様書
材質: | メディア: ポリプロピレン (メルトブロー タイプ) |
O-リング: エチレンプロピレンゴム (EPR) | |
使用条件: | 最大許容正差圧: 0.34 MPa @ 20°C |
ソフトウェアのバージョンアップ情報の送付が選択されました
材質: | メディア: ポリプロピレン (メルトブロー タイプ) |
O-リング: エチレンプロピレンゴム (EPR) | |
使用条件: | 最大許容正差圧: 0.34 MPa @ 20°C |
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