薬液供給


歩留まりの向上、コスト削減、装置稼働率の向上に役立つ薬液供給の課題解決のための信頼性の高いソリューション

プロセスの完全性の管理は、生産されるすべてのウェーハおよびICと直接接する薬液から始まります。 インテグリスは、半導体グレードの高純度薬品を安全に取り扱い、供給するのに役立つ包括的なソリューションを提供しています。 薬液供給の清浄度を維持し、歩留まりを向上させ、コストを削減するために、信頼性が高く、実績のあるソリューションを紹介します。