流体管理
人工知能、ロボット工学、スマートホーム、スマート カー、IoT などの時代の大きな流れが、スピード、規模、信頼性などの高まるニーズに応えて進化するにつれ、集積回路 (IC)メーカーはプロセッサの電力効率とメモリ容量の拡張を余儀なくされています。これを達成するために、加工寸法が微細化し、プロセスの複雑化が進み、汚染と欠陥がより大きくデバイス性能に影響するようになっています。
インテグリスは、高純度薬液供給における固有の課題を理解し、お客様と共に薬液供給システムの清浄度の開発および最適化を行います。高速で正確な測定管理から高度な粒子特性評価、安全で効率的な薬液のハンドリングまで、インテグリスは、薬品製造からユースポイントに至る各段階における汚染管理のソリューションを提供します。インテグリスは、流路全体で薬品の清浄度を維持し、デバイス性能の改善と歩留まりの向上のお手伝いができます。
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製造からユースポイントまでの薬液供給における汚染源の削減
This paper takes a closer look at ways to more comprehensively meet increasing purity specifications throughout chemical and device manufacturing.
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As logic devices go to smaller line widths, 3D NAND architectures increase layers, and DRAM memory density increases, sensitivity to contamination and defects have a greater impact on device performance. To achieve optimum wafer yield and reliability, the microelectronics industry needs to address the increased materials consumption requirements and material purity challenges from chemical manufacture to point of use.
Glass bottles were the standard for storing, transporting, and dispensing chemistries for semiconductor device manufacturing. increasing concern over safety as fabs become larger and more automated, has sparked the industry to develop glass container alternatives.
To ensure a consistent chemical supply that meets the highest purity requirements of the semiconductor industry, look to our end-to-end chemical handling, transport, and delivery system solutions that satisfy regulatory requirements for purity and safety.
The solution to maintaining a safe and contamination-controlled chemical delivery environment in the fab is to seek out simplified single-sourced chemical packaging, filtration, and handling products that will increase product yield and reduce financial loss. While it may seem insignificant, the right clean chemical delivery pump can make or break the entire chain.