検査・測定


検査システムと試験環境をクリーンに保つために汚染を低減する

インテグリスは、主要な工程に悪影響を与え、ウェーハの表面に付着する可能性のあるコンタミネーションを制御するプロです。 ウェーハやコンポーネントの欠陥を測定し特定するために使用される環境にも、相応の保護が必要です。 装置周りおよび装置内の保護は、インテグリスにお任せください。